[发明专利]平面移动靶机构无效
| 申请号： | 201210067553.X | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN102586750A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 朱殿荣;曹俊 | 申请（专利权）人： | 无锡康力电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 夏平 |
| 地址： | 214253 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面 移动靶 机构 | ||
1.一种平面移动靶机构，其特征是它包括框架（1）、往返传动机构（2）、两直线导轨机构（3）、极靴（4）、永磁铁（5）和位于真空箱体（9）内的阴极（6）和靶材（8），所述的往返传动机构（2）安装在框架（1）的中部，两直线导轨机构（3）分别安装在框架（1）的上下部分，两直线导轨机构（3）上分别装有至少一个滑块（10），极靴（4）安装在往返传动机构（2）的中部，极靴（4）的上、下两端分别固定在两直线导轨机构（3）的滑块（10）上，永磁铁（5）安装在极靴（4）上，在永磁铁（5）上方的真空箱体（9）底部安装阴极（6），靶材（8）安装在阴极（6）的上方。
2.根据权利要求1所述的平面移动靶机构，其特征是所述的阴极（6）为铜背板。
3.根据权利要求1所述的平面移动靶机构，其特征是所述的阴极（6）的内部装有冷却水管（7）。
4.根据权利要求1所述的平面移动靶机构，其特征是所述的滑块（10）为四个，、两直线导轨机构（3）上分别安装两个滑块（10），极靴（4）的四角分别固定在四个滑块（10）上。
5.根据权利要求1所述的平面移动靶机构，其特征是所述的永磁铁（5）为三根，均为排布在极靴（4）上。
6.根据权利要求1所述的平面移动靶机构，其特征是所述的往返传动机构（2）包括伺服电机（11）和滚珠丝杠（12），由伺服电机（11）带动固定在滚珠丝杠（12）上的极靴（4）作匀速往返运动。
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