[发明专利]基片架磁定位系统

权利要求书

1.一种基片架磁定位系统，其特征是它包括真空箱体（1）以及位于箱体内部的传动机构、磁悬浮定位机构（3）、中心加热器（4）、两溅射靶（5）和多组基片架（6），所述的中心加热器（4）安装在真空箱体（1）的中部，两溅射靶（5）分别安装在真空箱体（1）的两侧壁上，中心加热器（4）与两溅射靶（5）之间的传动轨迹上安装多组基片架（6），各组基片架（6）的底部安装在传动机构上，各组基片架（6）的顶部安装磁悬浮定位机构（3），所述的磁悬浮定位机构（3）包括成对设置的多组磁铁，按照基片架（6）的运行轨迹在真空箱体（1）的顶部按同一极性排布多个磁铁，在对应基片架（6）的顶部按照与前述磁铁极性相反的排布多个磁铁。

2.根据权利要求1所述的基片架磁定位系统，其特征是所述的多组基片架（6）均为不锈钢支架。

3.根据权利要求1所述的基片架磁定位系统，其特征是所述的传动机构包括多组U型摩擦传动轮（2），各组U型摩擦传动轮（2）上分别夹装两基片架（6）。

4.根据权利要求1所述的基片架磁定位系统，其特征是所述的磁悬浮定位机构（3）包括成对设置的多组磁铁，安装在基片架（6）上的磁铁与安装在真空箱体（1）的顶部的磁铁的间隙是3-7mm。

5.根据权利要求1所述的基片架磁定位系统，其特征是所述的安装在基片架（6）上的磁铁与安装在真空箱体（1）的顶部的磁铁均采用50×20×10的矩形磁铁串联组合成长条形磁铁。

6.根据权利要求1所述的基片架磁定位系统，其特征是所述的安装在真空箱体（1）的顶部的磁铁是按朝上S朝下N，安装在基片架（6）上的磁铁是朝上S朝下N排列。