[发明专利]液体喷射头的制造方法、液体喷射头及液体喷射装置

说明书

技术领域

本发明涉及吐出液滴而在被记录介质进行记录的液体喷射头的制造方法，特别涉及吐出通道和伪通道(dummy channel)交替并列地排列的液体喷射头的制造方法、液体喷射头及液体喷射装置。

背景技术

近年来，将墨滴吐出至记录纸等而描绘字符、图形或将液体材料吐出至元件基板的表面而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头得到利用。该方式将墨或液体材料从液体罐经由供给管供给至液体喷射头，使填充在通道的墨或液体材料从与通道连通的喷嘴吐出。在吐出墨时，使液体喷射头或记录喷射的液体的被记录介质移动，记录字符或图形，或者形成既定形状的功能性薄膜。作为这种液体喷射头，已知共享模式型。共享模式型在压电体基板的表面交替形成吐出通道和伪通道，使吐出通道与伪通道之间的隔壁瞬间变形，从吐出通道吐出液滴。

图8表示专利文献1所记载的喷墨头的截面构造。喷墨头100具备交替形成有吐出通道112和伪通道111的底壁124、以及设置于该底壁124的上表面的顶壁110。在吐出通道112与伪通道111之间形成有压电侧壁103。压电侧壁103由上半部分的上壁部125和下半部分的下壁部126构成，上壁部125沿上方向极化，下壁部126沿下方向极化。在各压电侧壁103的壁面形成有电极105，在构成吐出通道112的压电侧壁103的各侧面形成有互相电连接的电极105B，在构成伪通道111的压电侧壁103的各侧面形成有互相电分离的电极105A。在喷墨头100的前表面设置有未图示的喷嘴板，在喷嘴板形成有与吐出通道112连通的喷嘴116。

喷墨头100如下地驱动。将电压施加至设置于吐出通道112的电极105B与在位于吐出通道112的两侧的2个伪通道111的该吐出通道112侧的侧面形成的电极105A之间。于是，压电侧壁103沿增加吐出通道112的容积的方向进行压电厚度滑移变形。然后，在经过既定时间之后，停止电压的施加，吐出通道112的容积从增加状态变成自然状态，将压力施加至吐出通道112内的墨，从喷嘴116吐出墨滴。

该喷墨头100如下地制造。首先，将沿上方向极化处理的压电陶瓷层粘接至沿下方向极化的压电陶瓷层而形成致动器基板102。接着，利用金刚石刀具等切削形成与致动器基板102平行的槽，形成由上壁部125及下壁部126构成的压电侧壁103。在这样形成的压电侧壁103的侧面，通过真空蒸镀等形成电极105A、105B。然而，构成伪通道111的两压电侧壁103的电极105A需要电分离。这是为了能够独立地驱动邻接的吐出通道112。因此，从压电侧壁103的开口侧使用激光装置或金刚石刀具在形成于伪通道111的底面的电极形成分割槽118，将左右侧壁的电极105A电分离。

专利文献1：日本特开2000-168094号公报

发明内容

然而，在形成分割槽118时，将激光束照射至伪通道111的每一个或将比伪通道111的宽度薄的金刚石刀具插入伪通道111而切断电极，这需要很多时间。另外，伴随着吐出通道112的窄间距化、伪通道111的窄通道化，激光束或金刚石刀具的对位极难。而且，激光束未到达伪通道111的底面或激光束也照射至压电侧壁103的上表面或金刚石刀具的厚度过薄而不能制造的课题明显化。

本发明是鉴于上述的课题而做出的，其目的在于，提供不使用激光束或金刚石刀具就成批除去形成于伪通道111的底面的电极的液体喷射头的制造方法。

本发明的液体喷射头的制造方法具备：层叠基板形成工序，将压电体基板接合至第一基底基板上而形成层叠基板；槽形成工序，交替并列地形成具有贯通所述压电体基板而到达所述第一基底基板的深度的吐出通道用的吐出槽和伪通道用的伪槽(ダミ一溝)；电极材料沉积工序，在所述吐出槽及所述伪槽的内表面沉积电极材料；盖板(cover plate)接合工序，将盖板以覆盖所述吐出槽及所述伪槽的方式接合至所述压电体基板；第一基底基板除去工序，除去与所述盖板相反侧的所述第一基底基板的一部分，除去沉积在所述伪槽的底面的所述电极材料；以及第二基底基板接合工序，将第二基底基板接合至所述第一基底基板。

另外，所述槽形成工序将所述吐出槽的至少一个端部形成至相对所述压电体基板的外周更靠内侧，将所述伪槽形成至所述压电体基板的外周。

另外，具备：树脂膜图案形成工序，在所述层叠基板形成工序之后，在所述压电体基板的表面形成由树脂膜构成的图案；以及树脂膜剥离工序，在所述电极材料沉积工序之后，除去所述树脂膜，分别在所述吐出槽和所述伪槽的侧面形成驱动电极、在所述压电体基板的表面形成引出电极。