[发明专利]一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备及其生产方法

权利要求书

1.一种一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，包括依次设置并一体连接形成整体生产设备的一次清洗装置、第一组镀膜室、一次刻线装置、二次清洗装置、第二组镀膜室、硒化装置、二次刻线装置、三次清洗装置、第三组镀膜室。

2.如权利要求1所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，在所述第一组镀膜室中形成钼金属层，在第二组镀膜室中依次形成铜铟镓层，在所述硒化装置中对形成的铜铟镓层进行硒化，在所述第三组镀膜室中形成氧化锌层。

3.如权利要求1所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，所述硒化装置位于所述第二组镀膜室中与之一体连接。

4.如权利要求1所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，所述第一组镀膜室、第二组镀膜室和第三组镀膜室均分别包括依次连接的1-6号六个镀膜室。

5.如权利要求4所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，所述第一组镀膜室、第二组镀膜室和第三组镀膜室均具有两个法兰，其分别位于2号镀膜室与3号镀膜室之间和4号镀膜室与5号镀膜室之间。

6.如权利要求1所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，还包括依次连接的第一转换室、第二转换室、第三转换室和等待室。

7.如权利要求6所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产设备，其特征在于，还包括与第一转换室连接的旋片泵，与第二转换室连接的罗茨泵，与第三转换室连接的分子泵。

8.一种一体化CIGS薄膜太阳能电池生产方法，包括依次进行的以下步骤：一次清洗、一次镀膜、一次刻线、二次清洗、二次镀膜、硒化、二次刻线、三次清洗、三次镀膜，其特征在于，各步骤由一体连接形成整体的生产设备一体化生产，各步骤不间断地连续形成CIGS薄膜太阳能电池。

9.如权利要求8所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产方法，其特征在于，所述一次镀膜步骤形成金属钼层，所述二次镀膜步骤形成铜铟镓层，所述三次镀膜步骤形成氧化锌层。

10.如权利要求8所述的一体化CIGS薄膜太阳能电池生产方法，其特征在于，所述二次镀膜步骤与所述硒化步骤由连接成一体化的自动化的生产线连续完成。