[发明专利]压电致动器、喷墨头组件及制造该喷墨头组件的方法

权利要求书

1.一种压电致动器，包括：

下电极和多个上电极，提供驱动电压；

压电膜，通过使液态压电物质固化而形成在下电极和所述多个上电极之间，并向设置在喷墨头中的多个压力室中的每个压力室中的墨提供驱动力，

其中，压电膜包括：多个分叉部分，各自设置在所述多个压力室中的每个压力室的上部上；大区域部分，在连接到所述多个分叉部分中的每个分叉部分的同时一体地设置在所述多个分叉部分的一端。

2.根据权利要求1所述的压电致动器，其中，所述多个上电极中的每个上电极被设置为从所述多个分叉部分中的每个分叉部分延伸到大区域部分。

3.根据权利要求2所述的压电致动器，其中，所述多个上电极中的每个上电极包括连接部分，所述连接部分设置在上电极的位于大区域部分的上部上的部分上，所述连接部分具有比上电极的其他部分的宽度宽的宽度，以便于布置用于将电压施加到上电极的电线。

4.根据权利要求3所述的压电致动器，其中，连接部分沿长度方向设置在所述多个上电极上的不同位置。

5.根据权利要求3所述的压电致动器，其中，连接部分被设置为以Z字形形式设置在所述多个上电极上。

6.根据权利要求1所述的压电致动器，其中，大区域部分的上部具有平面形状。

7.一种喷墨头组件，包括：

喷墨头板，在喷墨头板中形成有墨通道；

压电致动器，形成为与喷墨头板中的多个压力室对应，并提供用于将墨从压力室排放到喷嘴的驱动力，

其中，压电致动器包括：下电极和多个上电极，提供驱动电压；压电膜，通过使液态压电物质固化而形成在下电极和所述多个上电极之间，并向设置在喷墨头板中的多个压力室中的每个压力室中的墨提供驱动力，

压电膜包括：多个分叉部分，各自设置在所述多个压力室中的每个压力室的上部上；大区域部分，在连接到所述多个分叉部分中的每个分叉部分的同时一体地设置在所述多个分叉部分的一端。

8.根据权利要求7所述的喷墨头组件，其中，所述多个上电极中的每个上电极被设置为从所述多个分叉部分中的每个分叉部分延伸到大区域部分。

9.根据权利要求8所述的喷墨头组件，其中，所述多个上电极中的每个上电极包括连接部分，所述连接部分设置在上电极的位于大区域部分的上部上的部分上，所述连接部分具有比上电极的其他部分的宽度宽的宽度，以便于布置用于将电压施加到上电极的电线。

10.根据权利要求9所述的喷墨头组件，其中，连接部分沿长度方向设置在所述多个上电极上的不同位置。

11.根据权利要求9所述的喷墨头组件，其中，连接部分被设置为以Z字形形式设置在所述多个上电极上。

12.根据权利要求7所述的喷墨头组件，所述喷墨头组件还包括：

封装部分，堆叠在喷墨头板上，并且在封装部分中形成有通道，以使从外部引入的墨运动到喷墨头板的入口；

电连接部分，填充在穿透封装部分的通孔中，并电连接到压电致动器的上电极。

13.根据权利要求12所述的喷墨头组件，所述喷墨头组件还包括连接构件，所述连接构件将电连接部分和上电极彼此电连接。

14.根据权利要求13所述的喷墨头组件，其中，连接构件由焊球形成。

15.一种制造喷墨头组件的方法，所述方法包括下述步骤：

在喷墨头板中形成包括多个压力室的墨通道；

在喷墨头板的上部上形成下电极；

通过施加液态压电物质并使液态压电物质固化而形成压电膜，从而在下电极的上部上形成多个分叉部分和大区域部分，所述多个分叉部分被设置为与所述多个压力室对应，所述大区域部分在连接到所述多个分叉部分中的每个分叉部分的同时一体地设置在所述多个分叉部分的一端；

在压电膜的上部上形成多个上电极，所述多个上电极中的每个上电极被设置为从所述多个分叉部分中的每个分叉部分延伸到大区域部分。

16.根据权利要求15所述的方法，其中，在形成多个上电极的步骤中，在所述多个上电极中的每个上电极的位于大区域部分的上部上的部分上设置连接部分，所述连接部分具有比上电极的其他部分的宽度宽的宽度，以便于布置用于将电压施加到上电极的电线。