[发明专利]液体喷射头及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于喷射液体的液体喷射头及其制造方法。

背景技术

适用于通过将墨喷射到记录介质而进行记录的喷墨记录方法的喷墨记录头是喷射液体的液体喷射头的典型示例。该喷墨记录头通常包括墨流路、设置于流路的一部分的喷射能量产生部以及利用由喷射能量产生部所产生的能量来喷射墨的墨喷射口。

作为能适用于喷墨记录头的液体喷射头的示例，日本特开平09-234871号公报公开了包括喷射口构件的液体喷射头，该喷射口构件具有如下形状的喷射口：液体的流入口比待喷射的液体的出口大。

作为包括具有液体的流入口比待喷射的液体的出口大这种形状的喷射口的喷射口构件的制造方法，美国专利公开2005/0130075公开了如下的方法：在具有多个喷射能量产生部的基板上，在调整图像形成位置的情况下，对光固化性树脂进行曝光。

即使当通过使喷射口的形状形成为使得液体的流入口比液体的出口大来使液体的出口微细化时，也可以降低流阻，并且能够处理关于喷射特性的问题，例如，可以抑制再填充特性的劣化。

为了在抑制记录设备大型化的情况下以高的速度进行高品质图像的记录，在液体喷射头中，已经要求密集地配置具有微细的液体出口的喷射口以及与喷射口相应地连通的流路。

然而，当以美国专利公开2005/0130075所公开的方法形成如下的喷射口构件：在该喷射口构件中，形状被形成为使得液体的流入口比液体的出口大的喷射口被密集配置时，隔开相邻的喷射口的壁在喷射口的液体流入口侧是薄的，由此喷射口构件的强度可能会降低。

发明内容

考虑到上述问题而完成了本发明，本发明的目的是提供一种液体喷射头的制造方法，该制造方法能够以高的产量制造包括如下的喷射口构件的液体喷射头：该喷射口构件具有降低了流阻的喷射口并且具有令人满意的强度。

因此，本发明提供一种液体喷射头的制造方法，所述液体喷射头包括喷射口构件，所述喷射口构件具有沿排列方向设置的用于喷射液体的多个喷射口，所述方法包括：准备设置有树脂层的基板，其中所述树脂层含有光固化性树脂；执行第一曝光处理和第二曝光处理，其中所述第一曝光处理和所述第二曝光处理均是使所述树脂层进行曝光的曝光处理；以及在进行了所述第一曝光处理和所述第二曝光处理的所述树脂层中形成所述喷射口，其中，所述喷射口的通过所述第一曝光处理所形成的侧壁相对于所述基板的倾斜角与所述喷射口的通过所述第二曝光处理所形成的侧壁相对于所述基板的倾斜角不同。

另外，本发明还提供一种液体喷射头，其包括：基板；以及设置于所述基板的喷射口构件，所述喷射口构件具有沿排列方向设置的用于喷射液体的多个喷射口，其中，所述喷射口的沿与所述排列方向正交的正交方向的侧壁垂直于所述基板，并且所述喷射口的沿所述排列方向的侧壁与所述基板形成锐角。

从下面参照附图对示例性实施方式的说明，本发明的其他特征将变得明显。

附图说明

图1A、图1B和图1C示出由根据本发明的第一实施方式的制造方法所获得的液体喷射头的示例性结构。

图2是由根据第一实施方式的制造方法所获得的液体喷射头的示例性结构的示意性立体图。

图3A、图3B、图3C、图3D、图3E和图3F是示出根据第一实施方式的制造方法的过程截面图。

图4A、图4B、图4C、图4D、图4E和图4F是示出根据第二实施方式的制造方法的过程截面图。

图5A、图5B、图5C和图5D是示出执行第二曝光处理之后的状态的示意图。

图6是第二曝光处理中的曝光的概念图。

图7A、图7B、图7C和图7D是示出在执行第二曝光处理之后执行第一曝光处理的状态的示意图。

图8是第一曝光处理中的曝光的概念图。

图9A、图9B和图9C是示出执行根据第一实施方式的显影处理之后的状态的示意图。

图10A、图10B、图10C、图10D和图10E是示出在本发明的第二实施方式的曝光条件下所获得喷射口的附近的示意图。

具体实施方式

参照附图说明本发明的实施方式。

(第一实施方式)