[发明专利]一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置

说明书

  

所属技术领域

本发明关于属于光伏玻璃溅射设备气体引入混合装置领域，具体涉及一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置。 

背景技术

本发明系为一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置，反应溅射气体引入装置是磁控溅射设备的关键零部件，主要用于向溅射制程腔充入反应溅射气体，再通过调节反应气体沿靶材长度方向分布以获得反应溅射沈积的薄膜沿靶材长度方向的厚度均匀，通常是设置一沿靶材长度的长行进气管。当反应溅射气体为两种以上时，若直接将气体接入进气管后直接充入溅射制程腔中，无法使两种气体充分混合就被制程腔内等离子体反应，无法有效达到想要的沈积薄膜比例，进而导致加大某种气体充入流量，使薄膜各分子所占的比例更难得到有效的控制。 

发明内容

本发明主要目的系提供一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置，它可以克服上述的缺点，使两种气体再进入进气管前就能达到充分的混合后再进入制程腔内反应。 

其系将不锈钢内抛光容器由卡套接管接至进气管前方，而该不锈钢内抛容器另一端再以卡套衔接所需要的两种反应气体，不锈钢抛光容器内部设置4片气体隔板，厚度3mm，长度150mm，与容器壁间隔50mm，隔板间有50mm的间距，以左右对称的形式设置在容器内，再焊接达到密封，当两种气体分别由进气管引入后，因压力差的关系，会沿着不锈钢内抛容器设置的隔板前进，而隔板左右对称安装增长了气体行进路径，同时也让气体有足够的时间在充入进气管前充分混合，使溅射沈积的薄膜能达到想要的混合的反应比例。 

附图说明

图1系为本发明之剖面示意图。 

主要组件符号说明 

11．．．气体进入口

12．．．气体进入口

13．．．不锈钢内抛容器

14．．．气体隔板

15．．．气体引出出口

具体实施方式

为使方便简捷了解本发明之其他特征内容与优点及其所达成之功效能够更为显现，兹将本发明配合附图，详细说明如下：请参阅图1本发明之主要目的系提供一种光伏玻璃溅射制程气体混合装置，其系将不锈钢内抛光容器13由卡套接管经由气体引出出口15接至进气管前方，而该不锈钢内抛容器13另一端再以卡套衔接气体进入口11、12所需要的两种反应气体，不锈钢抛光容器13内部设置4片气体隔板14，厚度3mm，长度150mm，与不锈钢内抛光容器13壁间隔50mm，气体隔板14间有50mm的间距，以左右对称的形式设置在不锈钢内抛光容器13内，再焊接达到密封，当两种气体分别由气体进入口11、12引入后，因压力差的关系，会沿着不锈钢内抛容器13设置的气体隔板14前进，而气体隔板14左右对称安装增长了气体行进路径，同时也让气体有足够的时间在充入气体引出出口15前充分混合，使溅射沈积的薄膜能达到想要的混合的反应比例。 

综上所述，本发明在突破先前之技术结构下，确实已达到所欲增进之功效，且也非熟悉该项技艺者所易于思及，其所具之进步性、实用性，显已符合发明专利之申请要件，惟上列详细说明系针对本发明之一可行实施例之具体说明，该实施例并非用以限制本发明之专利范围，而凡未脱离本发明技艺精神所为之等效实施或变更，均应包含于本案之专利范围中。