[发明专利]图案形成装置及图案形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种在基板上形成规定图案的图案形成装置及图案形成方法，特别是涉及一种可在基板上所形成的包含斥液剂的膜上形成良好的对准标记的图案形成装置及图案形成方法。

背景技术

近年来，电子电路的配线、及在基板上形成电气配线图案等微细图案的技术受到关注。于该微细图案的形成中，例如使用喷墨方式的液体喷出头(喷墨头)。在这种情况下，自喷墨头喷滴扩散有金属粒子或树脂粒子的液体而描绘图案，通过加热等而使其硬化，形成电气配线图案。

而且，在PET或PEN等可挠曲基板(支撑体)上形成斥液性的膜，还可以在上述电子电路的配线及基板上形成电气配线图案等微细图案。

为了形成如上所述的电子电路的配线等，必须进行对准位置，必须形成用以对准位置的对准标记。PET或PEN等可挠曲基板(支撑体)的透明度高，作为如上所述地在透明度高的软性基板上形成对准标记的方法，例如在日本专利特开2011-1260号公报中提出了在玻璃上形成永久的工序标记(相当于对准标记)的方法。于日本专利特开2011-1260号公报中，使用激光而形成在玻璃上。

作为在PET或PEN等透明度高的基板上形成对准标记的方法，除了上述日本专利特开2011-1260号公报以外，还存在有如下的方法：使用热转印打印机而形成对准标记的方法、使用直晒剂而形成对准标记的方法、在基板上钻出贯通孔(冲孔)而形成对准标记的方法等。

PET或PEN等透明度高的基板是树脂，因此自耐热性等观点考虑，难以使用激光而形成对准标记。而且，如果利用热转印打印机，则对准标记的形成精度低，无法以高的精度而进行图案形成。另外，在使用直晒剂的方法中，必须在基板上设置特别的层，存在成本高的问题。至于在基板钻出贯通孔(冲孔)的方法，由于是在透明基板上钻孔，因此存在如下的问题：对准标记的识别精度低，另外在钻孔时产生粉尘等。

发明内容

本发明的目的在于解除所述先前技术中的问题点，提供可在包含斥液剂的膜上形成良好的对准标记的图案形成装置及图案形成方法。

为了达成上述目的，本发明的第1形态是提供一种图案形成装置，其是在基板上形成规定图案的图案形成装置，其特征在于包括：标记曝光部，对于所述基板上所形成的包含斥液剂的膜曝光出成为对准标记的标记图案；以及标记印刷部，在所述标记图案的曝光区域印刷可视化油墨，形成所述对准标记。

优选还包括：标记检测部，对印刷所述可视化油墨而成的所述对准标记进行检测，获得所述对准标记的位置信息；调整部，基于所述对准标记的位置信息，改变所述膜上所形成的图案的位置或者改变所述基板的位置，从而调整形成所述图案的位置；以及图像形成部，在所述基板的所述膜上形成图案。

在这种情况下，优选所述图像形成部包括所述膜中的使图案形成区域成为亲水性的曝光部、在成为亲水性的所述图案形成区域进行印刷的印刷部。

例如，所述膜是具有亲疏水性转换功能(亦即，可由于规定波长的光而产生亲疏水性变化)的膜，所述可视化油墨是吸收或反射并不使所述膜的亲疏水性变化的波长的光的油墨。在这种情况下，所述可视化油墨例如可使用水溶性油墨或金属油墨。

本发明的第2形态是提供一种图案形成方法，其是在基板上形成规定图案的图案形成方法，其特征在于包括：对于所述基板上所形成的包含斥液剂的膜曝光出成为对准标记的标记图案的步骤；以及在所述标记图案的曝光区域印刷可视化油墨，形成所述对准标记的步骤。

优选还包括：对印刷所述可视化油墨而成的所述对准标记进行检测，获得所述对准标记的位置信息的步骤；基于所述对准标记的位置信息，改变所述膜上所形成的图案的位置或者改变所述基板的位置，从而调整形成所述图案的位置的步骤；以及在所述基板的所述膜上形成图案的步骤。

在这种情况下，在所述膜上形成图案的步骤优选包括使所述膜中的图案形成区域成为亲水性的步骤、在成为亲水性的所述图案形成区域进行印刷的步骤。

[发明的效果]

通过本发明，能够在包含斥液剂的膜上形成良好的对准标记。由此可使用对准标记，以高的精度而在基板上形成规定图案。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施形态的图案形成装置的模式图。

图2(a)是表示本发明的第1实施形态的图案形成装置中所使用的基板的模式性截面图，图2(b)是表示本发明的第1实施形态的图案形成装置中所使用的基板的模式图。