[发明专利]图案形成装置及图案形成方法

权利要求书

1.一种图案形成装置，其是在基板上形成规定图案的图案形成装置，其特征在于包括：

标记曝光部，对于所述基板上所形成的包含斥液剂的膜曝光出成为对准标记的标记图案；以及

标记印刷部，在所述标记图案的曝光区域印刷可视化油墨，形成所述对准标记。

2.根据权利要求1所述的图案形成装置，其特征在于还包括：

标记检测部，对印刷所述可视化油墨而成的所述对准标记进行检测，获得所述对准标记的位置信息；

调整部，基于所述对准标记的位置信息，改变所述膜上所形成的图案的位置或者改变所述基板的位置，从而调整形成所述图案的位置；以及

图像形成部，在所述基板的所述膜上形成图案。

3.根据权利要求2所述的图案形成装置，其特征在于，

所述图像形成部包括所述膜中的使图案形成区域成为亲水性的曝光部、以及在成为亲水性的所述图案形成区域进行印刷的印刷部。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，

所述可视化油墨是吸收或反射并不使所述膜的亲疏水性变化的波长的光的油墨。

5.根据权利要求4所述的图案形成装置，其特征在于，

所述可视化油墨是水溶性油墨或金属油墨。

6.一种图案形成方法，其是在基板上形成规定图案的图案形成方法，其特征在于包括：

对于所述基板上所形成的包含斥液剂的膜曝光出成为对准标记的标记图案的步骤；以及

在所述标记图案的曝光区域印刷可视化油墨，形成所述对准标记的步骤。

7.根据权利要求6所述的图案形成方法，其特征在于还包括：

对印刷所述可视化油墨而成的所述对准标记进行检测，获得所述对准标记的位置信息的步骤；

基于所述对准标记的位置信息，改变所述膜上所形成的图案的位置或者改变所述基板的位置，从而调整形成所述图案的位置的步骤；以及

在所述基板的所述膜上形成图案的步骤。

8.根据权利要求6或7所述的图案形成方法，其特征在于，

在所述膜上形成图案的步骤包括使所述膜中的图案形成区域成为亲水性的步骤、以及在成为亲水性的所述图案形成区域进行印刷的步骤。