[发明专利]具多重电性通道的微机电装置及其制作方法

权利要求书

1.一种具多重电性通道的微机电装置，包括：

质量块，包含：

第二绝缘层，将该质量块分隔成一基础导电层与一目标导电层；

第二隔绝沟槽，设置于该目标导电层且贯穿该目标导电层至该第二绝缘层，并将该目标导电层分隔成相互电性绝缘的一第一导电部及一第二导电部；及

第二导电通孔，贯穿该第二绝缘层且连接该基础导电层及该第一导电部；以及

基板，包含：

至少一电极块，设置于该基板的上表面；

其中，在工作状态时，该基础导电层、该第二导电通孔及该第一导电部有一电流经过且该第二导电部与该电极块之间有一电位差。

2.如权利要求1所述的具多重电性通道的微机电装置，另包括第一支撑座，包括：

第一绝缘层，将该第一支撑座分隔成第一支撑座的上导电层与第一支撑座的下导电层；

第一隔绝沟槽，设置于该第一支撑座的下导电层且贯穿该第一支撑座的下导电层至该第一绝缘层，并将该第一支撑座的下导电层分隔成相互电性绝缘的第一支撑座的内导电部及第一支撑座的外导电部；

其中，该第一支撑座的内导电部电连接该第二导电部。

3.如权利要求2所述的具多重电性通道的微机电装置，另包括至少一第一导电通孔，设置于该第一支撑座中且贯穿该第一绝缘层，并连接该第一支撑座的上导电层及该第一支撑座的外导电部。

4.如权利要求2所述的具多重电性通道的微机电装置，还包括至少一弹簧，其中该至少一弹簧包含：

第三绝缘层，将该至少一弹簧分隔成一弹簧的上导电层与一弹簧的下导电层，其中该弹簧的下导电层连接该第一支撑座的内导电部及该质量块的第二导电部，该弹簧的上导电层连接该第一支撑座的上导电层及该基础导电层。

5.如权利要求1所述的具多重电性通道的微机电装置，其中该质量块的该第二绝缘层的一部分被该基础导电层所覆盖，且该基础导电层为至少一圈的螺旋式导电线路。

6.如权利要求1所述的具多重电性通道的微机电装置，该第二隔绝沟槽为一具开口的多边环状隔绝沟槽。

7.如权利要求2所述的具多重电性通道的微机电装置，还包括一电性绝缘填充材，填充于该第一隔绝沟槽及第二隔绝沟槽以形成电性绝缘结构。

8.如权利要求2所述的具多重电性通道的微机电装置，还包括至少一导电接合层，其中该基板上具有至少一导电层，该第一支撑座的外导电部通过该导电接合层与该导电层连接。

9.如权利要求2所述的具多重电性通道的微机电装置，还包括两个永久磁铁与一第二支撑座，其中该第一支撑座与该第二支撑座位于该质量块的相对两侧，该些永久磁铁位于该质量块旁且位于该第一支撑座与该第二支撑座的连线所垂直的轴线上。

10.如权利要求1所述的具多重电性通道的微机电装置，其中该质量块为中央挖空的框架。

11.如权利要求第10项所述的具多重电性通道的微机电装置，还包括：

内框架，设置于该框架中且经由多个第一弹簧连接该框架；以及

内质量块，设置于该内框架中且经由多个第二弹簧连接至该内框架；

其中，该内质量块经由该些第二弹簧、该内框架及该些第一弹簧而电连接至该框架的该目标导电层。

12.如权利要求1所述的具多重电性通道的微机电装置，其中该基础导电层的电阻值大于该目标导电层的电阻值。