[发明专利]曝光装置、曝光方法以及器件制造方法

权利要求书

1.一种曝光装置，用能量束使物体曝光以在上述物体上形成图案，其具备：

第1移动体，保持物体并在包含彼此正交的第1轴及第2轴的既定平面内移动；

第2移动体，保持物体并在上述平面内与上述第1移动体独立地移动；

标记检测系统，具有于与上述第2轴平行的方向位置不同的多个检测区域，检测上述第1及第2移动体上分别装载的上述物体上的标记；以及

控制装置，与对保持于上述第1及第2移动体的一方的物体的曝光并行地，一边使上述第1及第2移动体的另一方移动于与上述第1轴平行的方向、一边用上述标记检测系统检测该另一方移动体所保持的物体上的不同的多个标记并测量其位置信息。

2.如权利要求1所述的曝光装置，其中，在上述第1、第2移动体的与上述平面实质上平行的一面，分别具有以平行于上述第1轴的方向及平行于上述第2轴的方向分别为周期方向的2维光栅，在平行于上述第2轴的方向以既定间隔配置有一对以平行于上述第1轴的方向为长边方向的光栅部；

并进一步具备编码器系统，其具备具有多个2维读头的第1读头部，在上述一方的移动体所保持的物体的曝光动作时，根据与上述一方的移动体的上述一对光栅部分别对向的、属于上述第1读头部的读头的测量值，测量上述一方的移动体在上述平面内的位置信息，上述多个2维读头是对向于与上述平面实质平行的一面而配置于与上述第2轴平行的方向的不同位置。

3.如权利要求2所述的曝光装置，其中，上述编码器系统进一步具备具有多个读头的第2读头部，在上述另一方的移动体所保持的物体的标记的检测时，根据与上述另一方的移动体的上述一对光栅部分别对向的、属于上述第2读头部的读头的测量值，测量上述另一方的移动体在上述平面内的位置信息，上述多个读头是对向于与上述平面实质平行的一面而配置于与上述第2轴平行的方向的不同位置。

4.如权利要求1至3中任一项所述的曝光装置，其进一步具备：在与上述第1轴平行的方向从上述多个检测区域分离而配置，且与上述物体的标记的检测动作并行地进行周边曝光的周边曝光系统。

5.一种曝光装置，通过投影光学系统用能量束使物体曝光，其具备：

分别保持物体的第1、第2移动体；

局部液浸装置，包含在与上述第1、第2移动体对向配置的下面侧具有回收口的嘴单元，通过上述嘴单元将液体供应至上述投影光学系统下，且从通过上述供应的液体而形成于上述投影光学系统下的液浸区域通过上述回收口回收液体；

底盘，其装载装载上述第1、第2移动体的表面配置成与包含彼此正交的第1、第2方向的既定平面大致平行；

驱动系统，包含于上述底盘设有定子且于上述第1、第2移动体设有可动子的平面马达，将上述第1、第2移动体分别从通过上述投影光学系统与上述液浸区域进行上述物体的曝光的曝光位置与进行上述物体的更换的更换位置的一方移动至另一方；

测量系统，包含测量上述第1、第2移动体的位置信息的编码器系统；

标记检测系统，具有在上述第1方向与上述曝光位置不同且在上述第2方向位置彼此不同的多个检测区域，检测分别保持于上述第1、第2移动体的物体的标记；以及

控制装置，与保持于上述第1、第2移动体的一方的物体的曝光并行地，根据以上述编码器系统测量的位置信息控制上述平面马达，以使保持于上述第1、第2移动体的另一方的物体相对上述多个检测区域移动于上述第1方向；

保持于上述一方移动体的物体的曝光与通过上述标记检测系统对多个标记的检测是并行地进行，该多个标记包含在保持于上述另一方移动体的物体上位置在上述第1方向不同的标记。

6.如权利要求5所述的曝光装置，其中，接续于保持于上述一方移动体的物体的曝光，上述一方移动体配置于上述投影光学系统下方的上述第1、第2移动体，通过上述平面马达相对上述嘴单元移动；

上述另一方移动体取代上述一方移动体配置于上述投影光学系统下方，且上述液浸区域一边维持于上述投影光学系统下、一边从上述一方移动体移动至上述另一方移动体。

7.如权利要求6所述的曝光装置，其中，上述第1、第2移动体，以上述另一方移动体接近配置于上述投影光学系统下方的上述一方移动体的方式相对移动，已接近的上述第1、第2移动体相对上述嘴单元移动。