[发明专利]柔性CIGS薄膜太阳电池吸收层制备工艺

权利要求书

1.一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池吸收层的制备工艺，其特征在于：利用卷对卷的生产工艺，以不锈钢为衬底沉积背电极钼层，然后利用三步法共蒸发的方法沉积CIGS吸收层。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：柔性铜铟镓硒薄膜太阳电池的衬底为25～100μm厚的不锈钢带。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：制备形式采用卷对卷(Roll-To-Roll)的镀膜方式，该绕卷式的工艺是实现大面积薄膜、大批量生产的最佳途径。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：制备的薄膜太阳电池宽度可为300～100mm宽，卷带长500～1000m。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：蒸发室的初始压强为2×10^-4Pa。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：吸收层的制备采用三步法，具体包括以下工艺步骤：

(1)在衬底温度300～400℃时，共蒸发In、Ga和Se元素，蒸发时间为15～25分钟。

(2)在衬底温度550～580℃时，共蒸发Cu和Se元素，直到薄膜富铜时结束。

(3)在衬底温度550～580℃时，共蒸发In、Ga和Se元素，最终得到满足化学计量比的CIGS薄膜。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：最终制备的CIGS吸收层的厚度为1.5～2.5μm。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：制备的薄膜电池化学计量比接近CuIn_1-xGa_xSe₂。