[发明专利]碲锌镉与金属界面的透射电子显微镜样品制备方法无效
| 申请号： | 201210034447.1 | 申请日： | 2012-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN102539213A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 傅莉;孙颉;聂中明 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/32 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 王鲜凯 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碲锌镉 金属 界面 透射 电子显微镜 样品 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种碲锌镉与金属界面的透射电子显微镜样品制备方法，其特征在于包括以下步骤：
(a)采用线切割的方式将CdZnTe晶体切割为薄片，通过研磨使所有待用CdZnTe晶片厚度相同，然后进行清洗、抛光，并在2％的Br-MeOH中进行腐蚀，得到经过前处理的CdZnTe晶片3～5片；
(b)在电阻蒸发镀膜机中制备金属电极，并进行快速退火；
(c)将3～5片CdZnTe以电极面相对的方式进行对粘并用夹具加紧，在100℃～150℃下烘烤15～20小时，得到待减薄的TEM样品；
(d)采用1500#、2000#、3000#和5000#砂纸逐渐减薄样品至厚度为100μm，将其中一面进行抛光，并粘接铜载网；
(e)采用手动研磨器对样品进行最后的减薄至50μm以下，然后进行离子减薄直至样品被击穿，完成样品的制备。
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