[发明专利]玻璃基板刻划方法

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃基板刻划方法，特别是涉及对在表面形成有强化层的强化玻璃进行刻划的玻璃基板刻划方法。

背景技术

作为在玻璃基板上形成用于分割的刻划槽的方法，有使用激光来形成的方法。此时，通过沿着刻划预定线来照射激光而使基板的一部分溶解、蒸发，来形成刻划槽。但是，在该方法中，有时被溶解、蒸发的基板的一部分附着在基板表面上，伴随而来的是质量的恶化。另外，在被溶解、蒸发的部分上形成的斑痕成为降低基板端面强度的原因。

作为其他的刻划槽形成方法，存在如在专利文献1或2中公开的方法。此处，在作为玻璃基板的刻划槽起点的地方，形成有初始龟裂，对该初始龟裂照射激光。由此，在激光照射部分产生热应力，龟裂发展而形成刻划槽。

另外，在专利文献3中公开有用于改善被分割的基板的截面处的直角度及直进性的激光刻划方法。此处，在沿着刻划预定线在基板上形成刻划槽时，在刻划预定线的终端附近，形成没有形成有刻划槽的区域。

【专利文献】

【专利文献1】日本特开平3-489号公报

【专利文献2】日本特开平9-1370号公报

【专利文献3】日本再公表特许2007/094348号公报

但是，最近的FPD(平板显示器)业界强调基板端面的强度，因此作为玻璃基板，主要使用在表面形成有强化层的化学强化玻璃。该化学强化玻璃具有通过离子交换处理而使表面具有压缩应力的层(强化层)，最近，特别是在要求端面强度的触摸面板等防护玻璃中应用。

如上所述的强化玻璃，耐久性高且很难受损。因此，很难在强化玻璃的端面上稳定地形成初始龟裂并形成刻划槽。例如，在初始龟裂的深度浅时，不会形成刻划槽。并且，相反，当初始龟裂过深时，不能使初始龟裂沿着刻划预定线发展，不能形成期望的刻划槽。

另外，如上所述的强化玻璃在表面具有很强的压缩应力，在内部具有拉伸应力。因此，当利用以往的方法对强化玻璃照射激光而形成刻划槽时，龟裂主要是以在激光的扫描开始侧的基板端面上形成的刻划槽(龟裂)为起点，在整个厚度方向上发展的情况较多。如上所述，当龟裂在基板的整个深度上形成时，基板沿着刻划线自然地被分离(以下，将基板通过刻划而被完全分割的情况记为“全切”)。在如上所述的情况中，交叉刻划工序、即沿着与之前的刻划线垂直的刻划线形成刻划槽的工序变得非常困难。

发明内容

本发明的目的在于，能够比较容易且稳定地对表面被强化的强化玻璃形成期望的刻划槽。

本发明的另一目的在于，在对表面被强化的强化玻璃形成刻划槽时能够防止全切，而容易地将玻璃基板分割为期望的形状。

第1发明的对强化玻璃进行刻划的玻璃基板刻划方法，该强化玻璃的表面具备带有压缩应力的强化层，其中，所述刻划方法包括：第1步骤和第2步骤。在第1步骤中，在强化玻璃的表面，去除强化层而形成初始龟裂。在第2步骤中，在对初始龟裂照射激光进行加热的同时，对被加热的区域进行冷却，使龟裂沿着刻划预定线发展。

此处，在强化玻璃的表面上，形成超过强化层深度的初始龟裂。之后，对初始龟裂照射激光进行加热，并且对被加热的区域进行冷却。由此，初始龟裂沿着刻划预定线发展。

此处，形成超过强化层深度的初始龟裂，从而能够比较容易、稳定地形成期望的刻划槽。

第2发明的玻璃基板刻划方法是在第1发明的刻划方法中，在第1步骤中，初始龟裂的深度为强化玻璃的强化层厚度的1.14倍以上且在1.67倍以下。

此处，在初始龟裂的深度不足强化玻璃的强化层厚度的1.14倍时，强化层会残留，即使进行后续步骤中的基于激光照射的加热处理及冷却处理，龟裂也不会发展，很难形成刻划槽。另一方面，在初始龟裂的深度超过强化层厚度的1.67倍时，通过后续步骤中的加热及冷却，龟裂会在期望之外地向不同于形成有刻划线方向的方向进展，很难形成期望的刻划槽。

因此，在本发明中，使初始龟裂的深度成为强化玻璃的强化层厚度的1.14倍以上且在1.67倍以下。因此，能够稳定地形成期望的刻划槽。

第3发明的玻璃基板刻划方法是在第2发明的刻划方法中，在第1步骤中，初始龟裂的深度不超过强化玻璃的整个厚度的5.4％。

如上所述，即使初始龟裂的深度为强化层的1.14～1.67倍，在玻璃基板整体的厚度薄的情况下，当初始龟裂形成得很深时，龟裂有时也不会沿着刻划预定线来发展。

因此，在本发明中，使初始龟裂的深度不超过强化玻璃的整个厚度的5.4％。因此，能够稳定地形成期望的刻划槽。