[发明专利]放射率测定方法、放射率测定装置、检查方法及检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及测定被检物的放射率的放射率测定方法及装置，以及基于测定的放射率检查被检物的检查方法及装置。

背景技术

作为以往的技术，有通过激光加热被检物，基于从加热的被检物放射的红外光来测定放射率的技术(参照专利文献1)。使用图8说明以往的技术。

图8是以往的技术的放射率测定装置100的示意图。

从激光光源101照射的激光经由准直透镜102、多角镜(polygon mirror)103、聚光透镜104照射到被检物105。由于被激光照射而加热的被检物105随着温度上升放射红外光106。放射的红外光106经由红外光受光透镜107入射到受光装置108。控制部109基于入射到受光装置108的红外光106，计算被检物105的放射率。

这样，以往技术的放射率测定装置100通过加热被检物105来测定被检物105的放射率。

专利文献1：特开2004-294183号公报

但是，在以往技术中，为了精度较好地测定放射率，需要将被检物加热至高温。例如，在被检物周围环境的温度(室温)为300K的常温的情况下，需要使被检物的温度上升至800K左右。这样将被检物加热至高温后，有时对被检物会产生热损伤。

发明内容

对此，本发明的目的在于提供能够在不将被检物加热至高温的情况下进行放射率的测定的放射率测定方法及装置，以及使用了该放射率测定方法及装置的检查方法及装置。

为了实现上述目的，本发明的放射率测定方法的特征在于包括：红外光照射步骤，对被检物照射第一放射能的红外光；测定步骤，根据来自照射了所述红外光的所述被检物的反射红外光测定第二放射能；以及计算步骤，基于所述第一放射能与所述第二放射能计算所述被检物的放射率。

另外，本发明的检查方法的特征在于包括：检查步骤，基于使用本发明的放射率测定方法计算出的放射率检查被检物是否为良品。

另外，本发明的放射率测定装置的特征在于包括：光源，对被检物照射第一放射能的红外光；测定部，根据来自照射了所述红外光的所述被检物的反射红外光测定第二放射能；以及计算部，基于所述第一放射能与所述第二放射能计算所述被检物的放射率。

另外，本发明的检查装置的特征在于包括：检查部，基于由本发明的放射率测定装置计算出的放射率检查被检物是否为良品。

发明效果

根据本发明的放射率测定方法及装置，不将被检物加热至高温，即可进行放射率的测定。

另外，根据本发明的检查方法及装置，能够基于在不将被检物加热至高温的情况下测定的被检物的放射率，进行被检物的检查。

附图说明

图1是实施方式1的放射率测定装置的示意图。

图2是实施方式1中不从红外光源照射红外光的情况下的由测定部测定的能量的示意图。

图3是实施方式1的由测定部测定的能量的示意图。

图4是表示实施方式1的放射率测定装置的动作的流程图。

图5是实施方式2的放射率测定装置的示意图。

图6是实施方式3的检查装置的示意图。

图7是表示实施方式3的检查装置的动作的流程图。

图8是以往的放射率测定装置的示意图。

符号说明：

1、放射率测定装置；2、被检物；3、传送路径；4、温度计；6、红外光源；7、红外透镜；8、测定部；9、计算部；10、被照射区域；11、被测定区域；12、放射率测定装置；13、计算部；14、检查装置；15、检查部；16、显示部。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明实施方式的放射率测定方法、放射率测定装置、检查方法以及检查装置。

(实施方式1)

图1是实施方式1的放射率测定装置1的示意图。

放射率测定装置1包括传送被检物2的传送路径3、取得被检物2的温度的温度计4、经由分光器(beam splitter)5将第一放射能的第一红外光照射到被检物2的红外光源6、对来自照射了第一红外光的被检物2的反射红外光进行聚光的红外透镜7、根据聚光的反射红外光测定第二放射能的测定部8、以及根据测定的第二放射能计算被检物2的放射率的计算部9。利用该结构，放射率测定装置1在不将被检物2的温度加热至高温的情况下测定被检物2的放射率。以下对放射率测定装置1的各结构进行说明。

被检物2此处作为一例是宽度(图1的Y轴方向)为12.8mm，厚度(Z轴方向)为500μm，长度(X轴方向)为100m的带状物体。