[发明专利]一种等离子体加工设备

权利要求书

1.一种等离子体加工设备，包括反应腔室、固定在所述反应腔室的室壁上的提升机构以及与所述提升机构连接的用于推动被加工工件移动的顶针系统，所述提升机构包括驱动单元和传递单元，所述传递单元的一端与所述顶针系统连接，另一端与所述驱动单元连接，借助所述传递单元将所述驱动单元的动力传递到所述顶针系统，以使所述顶针系统作直线往复运动，其特征在于，所述驱动单元为直线电机，所述直线电机的定子固定在所述反应腔室上，所述传递单元与所述直线电机的动子连接。

2.根据权利要求1所述的等离子体加工设备，其特征在于，所述传递单元包括支承部件以及用于将所述顶针系统和所述支承部件连接的固定块，所述支承部件与所述直线电机的动子连接，所述支承部件相对于所述直线电机的定子作直线运动，所述固定块固定在所述支承部件上。

3.根据权利要求2所述的等离子体加工设备，其特征在于，在所述支承部件与所述直线电机之间设有导轨以及与所述导轨相配合的滑块，所述导轨固定在所述直线电机的定子上，所述滑块固定在所述支承部件上，所述支承部件借助所述滑块沿所述导轨滑动。

4.根据权利要求3所述的等离子体加工设备，其特征在于，所述支承部件包括连接部以及分别设置在所述连接部的两个端部的第一延伸部和第二延伸部，所述第一延伸部和第二延伸部与所述连接部垂直，所述第一延伸部、所述第二延伸部以及所述连接部形成缺一边的方形框，且在所述连接部的垂直方向上，所述第一延伸部比所述第二延伸部短，所述动子与所述第一延伸部连接，所述滑块固定在所述连接部的内侧，所述导轨设置在所述定子与所述连接部相对的面上，所述固定块设置在所述连接部的外侧。

5.根据权利要求3所述的等离子体加工设备，其特征在于，所述支承部件包括连接部以及分别设置在所述连接部的两个端部的第一延伸部和第二延伸部，所述第一延伸部和第二延伸部与所述连接部垂直，所述第一延伸部、所述第二延伸部以及所述连接部组成缺一边的方形框，且在所述连接部的垂直方向上，所述第一延伸部比所述第二延伸部短，所述动子与所述第一延伸部连接，所述滑块固定在所述第二延伸部的内侧，所述导轨设置在所述定子与所述第二延伸部相对的面上，所述固定块设置在所述连接部的外侧。

6.根据权利要求2所述的等离子体加工设备，其特征在于，在所述支承部件和所述直线电机的定子之间设有自锁装置，用于锁止所述支承部件与所述直线电机的定子之间的相对运动。

7.根据权利要求2所述的等离子体加工设备，其特征在于，包括用于测量所述被加工工件的位置和移动速度的监测单元，所述监测单元设置在所述支承部件和所述直线电机的定子之间。

8.根据权利要求7所述的等离子体加工设备，其特征在于，所述监测单元包括光栅读头和光栅尺，所述光栅读头设置在所述支承部件上，所述光栅尺设置在所述直线电机的定子上；或者，所述光栅读头设置在所述直线电机的定子上，所述光栅尺设置在所述支承部件上，借助所述光栅读头和光栅尺获得所述被加工工件的位置和移动速度。

9.根据权利要求8所述的等离子体加工设备，其特征在于，包括控制单元，所述控制单元与所述直线电机和所述监测单元连接，所述控制单元用于根据监测到的所述被加工工件的位置控制所述直线电机的运行速度。