[发明专利]发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像的呈现方法

权利要求书

1.一种发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像的呈现方法，包含下列步骤：

对多批发光二极体磊晶片上的多个量测位置进行量测，以获得每一量测位置的量测资料，其中每一磊晶片具有对应于相关磊晶载盘上的配置位置的第一序列，以及每一量测位置具有对应于相关磊晶片上的地址的第二序列；

依照该第一序列以及该第二序列，借由颜色标度方式以各批发光二极体磊晶片的量测资料来建立对应磊晶载盘位置量测分布图像；及

在显示介面上以重叠方式依序显示各批发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像。

2.如权利要求1权利要求1所述的发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像的呈现方法，更包含下列步骤：

在该显示介面上同时显示各批发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像。

3.如权利要求1所述的发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像的呈现方法，其中该第一序列包含量测时间序列。

4.如权利要求1所述的发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像的呈现方法，其中该第二序列包含量测时间序列。

5.如权利要求1所述的发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像的呈现方法，其中该量测资料包含薄膜厚度、发光波长、发光强度、以及反射率的相关物性的量测资料。

6.一种发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像的呈现方法，包含下列步骤：

对多批发光二极体磊晶片上的多个量测位置进行光激发光量测，以获得每一量测位置的光激发光量测资料，其中每一磊晶片具有对应于相关磊晶载盘上的配置位置的第一序列，以及每一量测位置具有对应于相关磊晶片上的地址的第二序列；

依照该第一序列以及该第二序列，借由颜色标度方式以各批发光二极体磊晶片的光激发光量测资料来建立对应磊晶载盘位置量测分布图像；及

在显示介面上以重叠方式依序显示各批发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像。

7.如权利要求6所述的发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像的呈现方法，更包含下列步骤：

在该显示介面上同时显示各批发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像。

8.如权利要求6所述的发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像的呈现方法，其中该第一序列包含量测时间序列。

9.如权利要求6所述的发光二极体磊晶片的对应磊晶载盘位置量测分布图像的呈现方法，其中该第二序列包含量测时间序列。