[发明专利]光组件以及光分析装置有效
申请号: | 201210018178.X | 申请日: | 2012-01-19 |
公开(公告)号: | CN102621613A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 野泽武史 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28;G02B26/00;G01J3/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组件 以及 分析 装置 | ||
技术领域
本发明涉及具有干涉滤波器的光组件以及具有光组件的光分析装置,该干涉滤波器用于从入射光中取出规定波长的光。
背景技术
在现有技术中,公知有如下所述的干涉滤波器(标准具etalon),该干涉滤波器分别在一对基板的彼此相对的面上隔着规定的间隙相对配置有多层膜(反射膜)(例如,参照专利文献1)。
在专利文献1记载的干涉滤波器中,为了调整间隙,在一对反射膜的彼此相对的面上相对配置有驱动电极,通过向各驱动电极施加驱动电压,从而能够通过静电引力来调整间隙。由此,干涉滤波器能够仅使与该间隙对应的指定波长的光透过。也就是说,干涉滤波器使入射光在一对反射膜之间使光进行多重干涉,并仅使通过多重干涉而彼此增强的指定波长的光透过。
但是,上述这样的干涉滤波器一般都安装于光组件或光分析装置来加以使用。图13是表示安装有标准具50的现有的测色装置10(光分析装置)的概略结构的模式图。
测色装置10具备:光源装置20,用于向检查对象A射出光;以及测色传感器40(光组件),该测色传感器40具有:标准具50,用于对检查对象A所反射的检查对象光进行分光;光接收元件420,用于接收透过了标准具50的光;铠装壳40A,收容有与光源装置20及光接收元件420连接的印刷基板410。
测色传感器40具备筒状的保持壳310,该保持壳310与光源装置20邻接设置,用于保持标准具50的外周缘。
此外,该测色装置10使检查对象A反射从光源装置20射出的光,通过测色传感器40对反射后的检查对象光进行分光,基于从测色传感器40输出的检测信号,根据分光后的各波长的光的光量,分析并测定检查对象光的色度、即检查对象A的颜色。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开平11-142752号公报
但是,在如图13所示的现有结构中,保持壳310保持标准具50的与设置有反射膜的部分接近的外周部。在这样的结构中,光源装置20产生的热也会从保持壳310直接传导给标准具50,从而存在基板由于热膨胀而弯曲的担忧。
而且,由于是标准具50的与反射膜接近的外周缘被保持壳310保持的结构,所以存在基板由于保持壳310的保持力而弯曲的担忧。
如上所述,如果在反射膜上发生弯曲,则存在透过标准具50的光的透过波长会发生偏差,从而导致分辨率下降的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能抑制干涉滤波器的分辨率下降的光组件以及光分析装置。
本发明的光组件具备:干涉滤波器以及保持所述干涉滤波器的保持部件,该干涉滤波器具有:第一基板、与上述第一基板相对的第二基板、设置在上述第一基板的与上述第二基板相对的面上的第一反射膜、以及设置在上述第二基板上的隔着规定间隙与上述第一反射膜相对的第二反射膜,上述干涉滤波器在沿基板厚度方向观察的俯视图中,具备设置有上述第一反射膜及上述第二反射膜的光干涉区域、以及向离开上述光干涉区域的方向突出的突出区域,上述保持部件在上述突出区域的与上述光干涉区域相反侧的一端侧保持上述干涉滤波器。
根据本发明,干涉滤波器具备第一基板及第二基板相对的光干涉区域、以及从光干涉区域突出的突出区域。并且,保持部件保持突出区域的前端侧(与光干涉区域相反的一侧),以保持干涉滤波器。因此,由于在离开反射膜的位置上由保持部件保持干涉滤波器,所以不会由于保持部件的保持力导致形成在光干涉区域上的反射膜弯曲。并且,例如即使在由光源装置等加热了保持部件的情况下,也可以通过突出区域抑制热量传导,且可抑制光干涉部的发热,从而也可降低由于基板、反射膜的发热而引起的弯曲。因此,由于可以防止反射膜的弯曲,从而可以维持干涉滤波器的反射膜间的平行性,且可抑制分辨率的降低。
在本发明的光组件中,优选上述第一基板及上述第二基板形成为相同形状,上述干涉滤波器具备与上述第一基板及上述第二基板中的任一个结合的支承基板,上述突出区域设置在上述支承基板上。
根据本发明,干涉滤波器构成为除了具有形成有反射膜的第一基板及第二基板以外,还具备具有突出区域的支承基板。并且,保持部件保持支承基板的突出区域,从而保持干涉滤波器,因此,可以通过第一基板及第二基板不弯曲的方式来进行保持。并且,例如即使在保持部件上被传导有热量的情况下,也可在突出区域抑制热量的传导,且由于设置有光干涉区域的第一基板及第二基板与支承部件是不同的基板,所以可以进一步可靠地抑制热量的传导。
在本发明的光组件中,可以是上述突出区域设置在上述第一基板及上述第二基板中的至少任一个上的结构。
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