[发明专利]闪烁体面板、其制造方法和放射线检测设备

权利要求书

1.一种闪烁体，包括具有第一表面和第二表面的闪烁体层，所述第一表面和第二表面是彼此相对的表面，其中，

所述闪烁体层包含多个柱状部分，每个柱状部分包含用于将放射线转换成光的柱状晶体，并且，每个柱状部分的柱状晶体具有从第一表面和第二表面之间的中间部分向着第一表面和第二表面增大的直径。

2.根据权利要求1的闪烁体，其中，每个柱状部分具有其中第一柱状晶体和第二柱状晶体被接合并且第一柱状晶体和第二柱状晶体之间的接合部分位于所述中间部分的结构。

3.根据权利要求2的闪烁体，其中，每个柱状部分具有其中第一柱状晶体和第二柱状晶体通过粘接剂材料被接合的结构。

4.根据权利要求2的闪烁体，其中，每个柱状部分具有其中第一柱状晶体和第二柱状晶体被直接地接合的结构。

5.一种放射线检测设备，包括：

在权利要求1～4中的任一项中限定的闪烁体；和

包含光电转换器的传感器面板，所述光电转换器检测由闪烁体的闪烁体层转换的光。

6.一种用于制造闪烁体的方法，所述方法包括：

第一生长步骤，在第一基板上生长多个第一柱状晶体，以形成包含所述多个第一柱状晶体的第一闪烁体层；

分离步骤，使第一基板与第一闪烁体层分离；和

第二生长步骤，沿与第一生长步骤中的生长所述多个第一柱状晶体的方向相反的方向，从在分离步骤之后露出的所述多个第一柱状晶体的部分生长多个第二柱状晶体，由此形成包含所述多个第二柱状晶体的第二闪烁体层。

7.根据权利要求6的方法，其中，在分离步骤中，切割所述多个第一柱状晶体，以将所述多个第一柱状晶体在第一基板侧去除预定的厚度。

8.一种用于制造闪烁体的方法，所述方法包括：

生长步骤，从基板的多个突出部分生长柱状晶体，以形成包含所述多个柱状晶体的闪烁体层；和

分离步骤，使所述基板与所述闪烁体层分离。

9.根据权利要求8的方法，其中，还包括：

接合步骤，接合通过所述生长步骤和所述分离步骤获得的两个闪烁体层的表面，所述基板是从所述表面被分离的。