[发明专利]一种双腔准分子激光器的同步控制系统

权利要求书

1.一种双腔准分子激光器的同步控制系统，包括双腔准分子激光器本体，其特征在于：还包括直流电源、充电模块、第一升压模块、第一磁开关模块、第二升压模块、第二磁开关模块和同步控制模块，所述直流电源给充电模块供电，所述充电模块将电能分两路输出，一路依次经第一升压模块升压、第一磁开关模块脉冲压缩后对双腔准分子激光器的MO腔进行放电激励，另一路依次经第二升压模块升压、第二磁开关模块脉冲压缩后对双腔准分子激光器的PA腔进行放电激励，所述同步控制模块的控制端输出信号至第一、第二升压模块，同步控制模块的信号采集端分别采集双腔准分子激光器MO腔和PA腔的放电信号。

2.根据权利要求1所述的一种双腔准分子激光器的同步控制系统，其特征在于：所述同步控制模块由取样电路、高速光耦、延时电路、时序判断电路、单片机和高速放大电路构成，所述单片机发出脉冲信号，脉冲信号依次经延时电路延时、高速光耦隔离、高速放大电路放大后分别传送至第一升压模块和第二升压模块，所述取样电路分别对双腔准分子激光器的MO腔和PA腔进行取样得到取样信号，取样信号依次经高速光耦隔离、时序判断电路判断后传送至单片机，单片机根据取样信号对延时电路进行延时控制并继续发送脉冲信号。

3.根据权利要求1所述的一种双腔准分子激光器的同步控制系统，其特征在于：所述第一升压模块和第二升压模块结构相同，且第一升压模块和第二升压模块与充电模块之间均设有储能电容器。

4.根据权利要求1所述的一种双腔准分子激光器的同步控制系统，其特征在于：所述第一磁开关模块和第二磁开关模块均包括有多级磁开关。

5.根据权利要求1所述的一种双腔准分子激光器的同步控制系统，其特征在于：所述延时电路中采用数字可编程延迟发生器。

6.根据权利要求1所述的一种双腔准分子激光器的同步控制系统，其特征在于：所述同步控制模块中延时电路、时序判断电路和单片机与外界通过高速光耦隔离，并采用屏蔽盒进行屏蔽，所述同步控制模块整体也采用屏蔽盒进行屏蔽。