[发明专利]一种新型光罩基准标记版图

权利要求书

1.一种新型光罩基准标记版图，其特征在于，包括主图形区，和环绕包围所述主图形区的遮光带；还包括位于主图形区和遮光带外部的光罩方位识别标记。

2.根据权利要求1所述的新型光罩基准标记版图，其特征在于，所述光罩方位识别标记选自图案、文字、字母、或其任意组合。

3.根据权利要求1所述的新型光罩基准标记版图，其特征在于，所述光罩方位识别标记位于操作时靠近机台方向、远离操作人员的一端。

4.根据权利要求1所述的新型遮光罩基准标记版图，其特征在于，还包括条形码区，并且条形码区在主图形区和遮光带的外部。

5.根据权利要求4所述的新型遮光罩基准标记版图，其特征在于，所述条形码区位于所述版图的一侧。

6.根据权利要求1所述的新型遮光罩基准标记版图，其特征在于，还包括光刻对准标记。

7.根据权利要求6所述的新型遮光罩基准标记版图，其特征在于，所述光刻对准标记环绕遮光带外部排布。

8.根据权利要求1所述的新型遮光罩基准标记版图，其特征在于，所述遮光带宽度为1.5mm。