[发明专利]单元式溅射抽气模块无效
| 申请号： | 201210013235.5 | 申请日： | 2012-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN103205725A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 施玉安 | 申请（专利权）人： | 上海北玻镀膜技术工业有限公司;上海北玻玻璃技术工业有限公司;洛阳北方玻璃技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;C03C17/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 胡美强;杨东明 |
| 地址： | 201614 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单元 溅射 模块 | ||
【权利要求书】：
1.一种单元式溅射抽气模块，包括镀膜腔体和盖板，其特征在于，所述镀膜腔体呈长方体，中间设置多个将腔体分割成多个独立井位单元的隔板，所述镀膜腔体还包括腔体顶板，所述腔体顶板开有多个用于放置盖板的相同形状的矩形缺口，每个盖板以密封的方式设置在所述缺口上。
2.如权利要求1所述的单元式溅射抽气模块，其特征在于，所述盖板为泵盖板或空盖板或阴极盖板。
3.如权利要求2所述的单元式溅射抽气模块，其特征在于，所述泵盖板为下端开口的长方体，内部设置真空泵。
4.如权利要求2所述的单元式溅射抽气模块，其特征在于，所述阴极盖板为长方体，所述盖板下方固定设置靶材。
5.如权利要求1、2或3所述的单元式溅射抽气模块，其特征在于，所述隔板设置玻璃传输通道。
6.如权利要求1、2或3所述的单元式溅射抽气模块，其特征在于，每个所述独立井位单元侧面设置观察窗和/或连接法兰。
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