[发明专利]电铸掩模板

权利要求书

1.一种电铸掩模板，形状为四边形金属板，包括与铟锡氧化物（ITO）面接触的ITO面和蒸镀面两个面，所述掩模板上具有贯通ITO面和蒸镀面的开口，沿掩模板的厚度方向的横向剖面上，开口为等腰梯形，开口在ITO面上的尺寸小于在蒸镀面上的尺寸。

2.根据权利要求1所述的电铸掩模板，其特征在于所述ITO面和蒸镀面上的开口通过若干个实桥，将开口连接起来，开口在掩模板上呈规则网格状分布；所述掩模板为矩形，厚度为5～200μm。

3.根据权利要求2所述的电铸掩模板，其特征在于掩模板厚度为10～100μm。

4.根据权利要求1所述的电铸掩模板，其特征在于掩模板材料为不锈钢、纯镍、镍钴合金、镍铁合金、因瓦合金中的任意一种金属板。

5.根据权利要求1所述的电铸掩模板，其特征在于ITO面和蒸镀面上的开口长尺寸边的方向为纵向，开口小尺寸边的方向为横向，ITO面开口横向尺寸小于蒸镀面开口的横向尺寸。

6.根据权利要求1所述的电铸掩模板，其特征在于ITO面开口横向上的尺寸精度在±5μm；ITO面开口的垂直深度小于等于蒸镀面开口的垂直深度。

7.根据权利要求1所述的电铸掩模板，其特征在于蒸镀面大尺寸网格状开口侧壁为光滑锥壁，锥度在1～50°。

8.根据权利要求1所述的电铸掩模板，其特征在于所述掩模板使用时，ITO面与蒸镀基板ITO玻璃紧密贴紧，有机材料通过ITO面开口蒸镀到ITO玻璃基板上。

9.根据权利要求1所述的电铸掩模板，其特征在于所述掩模板的均匀性小于5%；表面光亮度为一级光亮。

10.根据权利要求1所述的电铸掩模板，其特征在于所述开口剖面梯形的腰的锥度为5～20°；ITO面的开口尺寸小于蒸镀面的开口尺寸； ITO面的开口具有锥角；开口尺寸从蒸镀面往ITO面递减。