[发明专利]光学系统、光学设备和用于布置衍射光学元件的方法有效

专利信息
申请号: 201210009914.5 申请日: 2012-01-13
公开(公告)号: CN102590914A 公开(公告)日: 2012-07-18
发明(设计)人: 藤本诚 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18;G02B13/00
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 孙志湧;安翔
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 光学系统 光学 设备 用于 布置 衍射 元件 方法
【权利要求书】:

1.一种光学系统,所述光学系统按照从物体的次序包括:多个透镜;和具有衍射光栅的衍射光学元件,

所述衍射光学元件设置在所述多个透镜的透镜表面中的任意一个之上,并且

满足以下条件表达式之一:

0.50<fa/Rd<0.90

1.10<fa/Rd<2.00

其中fa表示从所述多个透镜中的最靠近物体的透镜到在其上设置所述衍射光学元件的透镜的每一个透镜的组合焦距,并且Rd表示在其上设置所述衍射光学元件的透镜表面的曲率半径。

2.根据权利要求1的光学系统,其中所述光学系统的所述多个透镜按照从物体的次序包括:具有正光焦度的第一透镜组,和具有负光焦度的第二透镜组。

3.根据权利要求2的光学系统,其中所述衍射光学元件设置在所述第一透镜组的透镜表面中的任意一个之上。

4.根据权利要求2的光学系统,其中所述第一透镜组的透镜表面中的任意一个是在像侧上的透镜表面。

5.根据权利要求2的光学系统,其中满足以下条件表达式:

0.50<f1/fa<0.80

其中f1表示所述第一透镜组的焦距。

6.根据权利要求2的光学系统,其中所述衍射光学元件设置在所述第一透镜组的透镜表面中的任意一个之上,并且

满足以下条件表达式:

0.030<f/fd<0.060

其中f表示所述光学系统的焦距,并且fd表示所述衍射光学元件的焦距。

7.根据权利要求1的光学系统,其中满足以下条件表达式:

0.50<L/f<0.75

其中L表示所述光学系统的全长,并且f表示所述光学系统的焦距。

8.根据权利要求1的光学系统,其中所述衍射光学元件的所述衍射光栅具有旋转对称形状。

9.一种包括用于在预定表面上形成物体的像的光学系统的光学设备,

这个光学系统是根据权利要求1的光学系统。

10.一种在光学系统中用于布置衍射光学元件的方法,所述光学系统按照从物体的次序具有:多个透镜和具有衍射光栅的衍射光学元件,

所述方法包括:

在所述多个透镜的透镜表面中的任意一个之上设置所述衍射光学元件,

并且满足以下条件表达式之一:

0.50<fa/Rd<0.90

1.10<fa/Rd<2.00

其中fa表示从所述多个透镜中的最靠近物体的透镜到在其上设置所述衍射光学元件的透镜的每一个透镜的组合焦距,并且Rd表示在其上设置所述衍射光学元件的透镜表面的曲率半径。

11.根据权利要求10的用于布置衍射光学元件的方法,其中所述光学系统的所述多个透镜按照从物体的次序包括:具有正光焦度的第一透镜组,和具有负光焦度的第二透镜组。

12.根据权利要求11的用于布置衍射光学元件的方法,其中所述衍射光学元件设置在所述第一透镜组的透镜表面中的任意一个之上。

13.根据权利要求11的用于布置衍射光学元件的方法,其中满足以下条件表达式:

0.50<f1/fa<0.80

其中f1表示所述第一透镜组的焦距。

14.根据权利要求11的用于布置衍射光学元件的方法,其中所述衍射光学元件设置在所述第一透镜组的透镜表面中的任意一个之上,并且

满足以下条件表达式:

0.030<f/fd<0.060

其中f表示所述光学系统的焦距,并且fd表示所述衍射光学元件的焦距。

15.根据权利要求10的用于布置衍射光学元件的方法,其中满足以下条件表达式:

0.50<L/f<0.75

其中L表示所述光学系统的全长,并且f表示所述光学系统的焦距。

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