[发明专利]放射线检测装置、放射线检测系统和该装置的制造方法无效
申请号: | 201210004896.1 | 申请日: | 2012-01-10 |
公开(公告)号: | CN102590850A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 渡边实;望月千织;横山启吾;川锅润;藤吉健太郎;和山弘 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G01T1/20 | 分类号: | G01T1/20;H01L31/09;H01L27/14 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 杨小明 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 放射线 检测 装置 系统 制造 方法 | ||
1.一种放射线检测装置,包括:
荧光体,所述荧光体被配置为将入射到所述放射线检测装置侧的放射线转换成可见放射线;
多个光电转换元件,所述多个光电转换元件被配置为将可见放射线转换成电荷;和
基板,所述基板具有第一表面和第二表面,第一表面面向所述荧光体,并且,第二表面与第一表面相反,
其中,所述基板、所述光电转换元件和所述荧光体从所述放射线检测装置的放射线入射到其上的侧起被依次布置,并且,
其中,第二表面包含多个凹陷和突起,所述多个凹陷布置于正交投影区域中,在所述正交投影区域,所述多个光电转换元件的正交投影沿与所述基板垂直的方向从荧光体侧进行投影,部分所述突起位于所述正交投影区域中,并且所述突起的剩余部分位于所述正交投影区域之间。
2.根据权利要求1的放射线检测装置,还包括:被布置于所述光电转换元件和所述基板的第一表面之间的开关器件,
其中,所述光电转换元件被布置于所述基板的第一表面和所述荧光体之间。
3.根据权利要求2的放射线检测装置,其中,
所述开关器件被布置为被所述光电转换元件覆盖。
4.根据权利要求3的放射线检测装置,其中,
所述光电转换元件中的每一个包含与所述开关器件电耦合的电极,
所述凹陷的形状是圆形或具有不与电极的边平行的至少一个边的多边形,并且,
所述突起以格子状图案被布置。
5.根据权利要求1的放射线检测装置,其中,
所述基板由多个基板材料形成,并且,
其中,在所述多个基板材料中的包含于所述突起中的基板材料与构成所述凹陷的基板材料相比具有较低的关于放射线的透射率。
6.根据权利要求1的放射线检测装置,还包括:
被布置于第二表面上并被配置为吸收由所述荧光体转换的可见放射线的光吸收层。
7.根据权利要求1的放射线检测装置,其中,
所述凹陷的宽度比所述光电转换元件的宽度小。
8.根据权利要求1的放射线检测装置,其中,
所述凹陷被设置为使得所述凹陷中的一个跨着多个光电转换元件被设置。
9.一种放射线检测系统,包括:
根据权利要求1的放射线检测装置;
被配置为处理来自所述放射线检测装置的信号的信号处理单元;
被配置为记录来自所述信号处理单元的信号的记录单元;
被配置为显示来自所述信号处理单元的信号的显示单元;和
被配置为传送来自所述信号处理单元的信号的传送处理单元。
10.一种放射线检测装置的制造方法,所述放射线检测装置包括被配置为将照射的放射线转换成可见放射线的荧光体、被配置为将由所述荧光体转换的可见放射线转换成电荷的多个光电转换元件、以及具有与所述荧光体相对的第一表面和与第一表面相反的第二表面的基板,并以这样的方式被配置:所述基板、所述光电转换元件和所述荧光体从放射线检测装置的放射线入射侧起以所述基板、所述光电转换元件和所述荧光体的次序被布置,该方法包括:
形成多个凹陷和多个突起,所述突起中的每一个位于第二表面上的多个凹陷中的相邻的凹陷之间,
其中,所述多个凹陷形成在正交投影区域中,沿与所述基板垂直的方向从荧光体侧投影的多个光电转换元件的正交投影位于所述正交投影区域,并且,
其中,部分所述突起形成在所述正交投影区域内,并且所述突起的所述部分以外的剩余部分形成在所述正交投影区域之间。
11.根据权利要求10的放射线检测装置的制造方法,其中,
所述基板从所述基板的第二表面侧经受选择性薄化处理。
12.根据权利要求11的放射线检测装置的制造方法,其中,
所述基板在所述多个光电转换元件已被布置于第一表面上的状态中经受选择性薄化处理。
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