[发明专利]介质隔离的压力传感器

权利要求书

1. 一种压力传感器（10），包括：

外壳（12），限定了流质通道（14），其中所述流质通道（14）具有第一端（16）和第二端（19）；

隔膜（22），具有第一侧（21）和第二侧（23），所述隔膜(22)的所述第一侧（21）接近所述外壳（12）的所述流质通道（14）的所述第二端（19）而被安装；

托架（26），具有第一侧（32）和第二侧（34），以及在所述托架（26）的所述第一侧（32）和所述第二侧（34）之间延伸的第一开口（28），所述托架（26）的所述第一侧（32）接近所述隔膜（22）的所述第二侧（34）而被安装；

压力感测管芯（44），接近所述托架（26）的所述第二侧（34）而被安装，所述压力感测管芯（44）包括与所述托架（26）的所述第一开口（28）流质连通的压力感测隔膜（46）；

传导流质空腔（38），至少部分地由所述隔膜（22）的所述第二侧（23）、所述托架（26）的所述第一侧（32）和所述压力感测管芯（44）的所述压力感测隔膜（46）所形成；以及

压力传导流质（24），布置于所述传导流质空腔（38）内。

2. 根据权利要求1所述的压力传感器（10），其中：

所述压力感测管芯（44）包括前侧和后侧，其中所述后侧包括限定了至少一部分压力感测隔膜（46）的蚀刻的空腔，其沿所述压力感测管芯（44）的所述前侧延伸，所述压力感测隔膜（46）包括一个或多个压阻元件，所述压力感测管芯（44）的所述前侧包括一个或多个焊盘，以及所述压力感测管芯（44）的后侧面向所述托架（26）的所述第二侧（34）。

3. 根据权利要求1 所述的压力传感器（10），其中：

所述托架（26）包括在所述托架（26）的所述第一侧（32）和所述第二侧（34）之间延伸的第二开口（30）；以及

在所述第二开口（30）中布置的密封。

4. 根据权利要求3所述的压力传感器（10），其中：

所述密封包括金属球（40）。

5. 根据权利要求1所述的压力传感器（10），进一步包括压力开口，由所述外壳（12）的所述流质通道（14）的所述第一端（16）所限定；以及其中：

从所述外壳（12）的所述压力开口起、穿过通过所述外壳（12）的所述流质通道（14）并到达所述隔膜（22）的所述第一侧（21）而提供要被感测的介质。

6. 根据权利要求1所述的压力传感器（10），其中所述隔膜（22）密封所述外壳（12）的所述流质通道（14）的所述第二端（19）。

7. 根据权利要求1所述的压力传感器（10），其中所述压力传导流质（24）为液体。

8. 根据权利要求7所述的压力传感器（10），其中所述压力传导流质（24）为油。

9. 根据权利要求1所述的压力传感器（10），进一步包括：

基板（42），接近所述压力感测管芯（44）而安装到所述托架（26）的所述第二侧（34）；

其中所述基板（42）包括与所述压力感测管芯（44）的一个或多个焊盘电通信的焊盘。

10. 根据权利要求9所述的压力传感器（10），进一步包括：

信号调节电路，安装在所述基板（42）上，其中所述信号调节电路（48）被配置为接收来自压力感测管芯（44）的信号并保持所述信号的状态以提供保持状态的输出信号。