[发明专利]激光加工设备用工作台装置

说明书

技术领域

本发明涉及激光加工设备用工作台装置，详细而言，涉及在对金属薄板实施微细的激光加工时使用的工作台装置。

背景技术

例如，在利用激光加工制造在印刷电路板上印刷膏状钎焊料时所使用的金属掩模时，使金属薄板与激光加工头相对移动，利用激光照射金属薄板的规定位置来进行制造。用于这样的加工的工作台通常以利用直线引导件而能够直线移动的状态设置工作台，并且使用直线伺服电机作为工作台移动用的驱动源(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004－112864号公报

发明内容

发明要解决的问题

作为使金属薄板和激光加工头相对移动的单元，有使激光加工头固定、使保持有金属薄板的工作台移动的结构和使金属薄板固定、使搭载有激光加工头的工作台移动的结构。对于使金属薄板移动的结构来说，在金属薄板的面积变大时，随着工作台的大型化、重量增加而容易产生振动，这成为导致出现加工误差的原因，因此优选使激光加工头移动的结构。但是，对于使激光加工头移动的结构来说也存在如下问题：若金属薄板的面积较大，则搭载激光加工头的工作台变长，重量也增加，因此工作台由于自身的重量而其中央向下方挠曲。即使工作台的挠曲很小，在进行激光加工金属掩模这样的超微细的加工时，哪怕是数微米程度的挠曲也会影响产品的品质。

因此，本发明的目的在于提供一种激光加工设备用工作台装置，其能够消除因工作台自身的重量而导致的工作台中央部向下方挠曲，还能够可靠地进行采用激光的超微细加工。

用于解决问题的方案

为了达到上述目的，本发明的激光加工设备用工作台装置包括工作台和直线伺服电机，上述工作台被设置为其两侧下部被直线引导件支承而能够沿导轨的长度方向移动，该直线引导件包括彼此平行地设置的一对上述导轨和被各导轨分别引导而沿导轨移动的滑块，上述直线伺服电机用于使该工作台沿上述导轨移动，其特征在于，上述直线伺服电机使用带芯型的直线伺服电机，在上述导轨的外侧，该直线伺服电机的定子分别以与各导轨平行且朝向工作台侧的状态配置在比该导轨高的位置，并且，在上述工作台的两侧部，上述直线伺服电机的动子配置在与上述定子的靠工作台的一侧相对的位置。

发明的效果

采用本发明的激光加工设备用工作台装置，由于配置于一对导轨的外侧上方位置的定子和安装在工作台的两侧部的动子之间的吸引力而在比导轨高的位置产生从两侧拉拽工作台的张力，因此能够防止工作台的中央部因工作台自身的重量而向下方挠曲。

附图说明

图1是表示本发明的激光加工设备用工作台装置的一实施例的主要部分的主视图。

图2是该工作台装置的主视图。

图3是该工作台装置的俯视图。

具体实施方式

本实施例所示的激光加工设备用工作台装置在基台11的两侧部分分别具有用于将门型构造的工作台12以能够移动的方式支承的直线引导件13和用于使工作台12移动的作为驱动源的直线伺服电机14。直线引导件13包括彼此平行地设置的一对导轨15、15和被各导轨15、15分别引导而能沿导轨15的长度方向移动的滑块16、16，滑块16安装于被形成在工作台12的台面部12a的两侧下部的腿部12b的下表面，以从导轨15的上方骑跨在导轨15上的方式设置。

上述直线伺服电机14为带芯型的直线伺服电机，由磁极交替地排列设置的定子17和在芯上缠绕导线而成的动子18构成。在竖立于上述导轨15的外侧的支承构件11a的内表面(靠工作台侧的表面)的比导轨15高的位置，上述定子17以朝向工作台12侧的状态且以与导轨15平行地沿着导轨15的状态在基台11的整个长度范围内配置。并且，在上述工作台12的上部外表面、即腿部12b的上部的台面部12a的两侧部且是在比上述导轨15高的位置，上述动子18分别安装在成为与上述定子17的靠工作台12的一侧相对的状态的位置，在导轨15和动子18之间设有规定的间隔。