[发明专利]触摸面板用垫板的制造方法及通过该制造方法制造的触摸面板用垫板

说明书

技术领域

本发明涉及触摸面板用垫板的制造方法及通过该制造方法制造的触摸面板用垫板。特别是，涉及可以抑制起因于金属层的蚀刻不良等的残渣现象，并且能够进行用于提高触摸面板用垫板的透明导电层特性的退火处理的触摸面板用垫板的制造方法及触摸面板用垫板。

背景技术

作为影像显示装置等输入装置而广泛利用的触摸面板是利用在玻璃或绝缘树脂等绝缘层上涂敷有ITO等透明导电层的叠层垫板来制造。

以往的触摸面板用垫板上涂布有用于与外部电连接的银浆。但是，像这样利用银浆形成配线电极的情况下，难以使配线电极的厚度和宽度变小，从而具有在面板表面产生段差或不能提高元件的集成度的问题。

为了改善上述的问题，使用在上述垫板的透明导电层上涂敷金属层来代替银浆而形成配线电极的方法。

图1显示作为配线电极而形成有金属层的触摸面板用垫板的制作工序的一个例子。

如图1所示，首先在绝缘层110上形成透明导电层120，在其上部形成金属层130。

然后，根据光刻（photolithography）等工序，形成由透明导电层120形成的透明电极图案121和由金属层130形成的配线电极图案131。此时，利用第一个掩模140同时去除不相当于透明电极图案121和配线电极图案131部分的金属层130和透明导电层120（1次蚀刻），然后利用第二个掩模141，在金属层130去除除了配线电极图案131的部分（2次蚀刻）。通过这样的工序来制造绝缘层110上形成有透明电极案121和配线电极图案131的触摸面板用垫板。

由上述的方法来形成垫板的情况下，由于金属层130不透明，因此在制造工序中通过肉眼检查容易确认透明电极图案121的不良（短路或者断路）。但是1次蚀刻后，掩模140的剥离过程中残留有机污染物质等的情况下，在2次蚀刻中在蚀刻速度上产生差异，从而金属层130的一部份不会被蚀刻而残留，由此可以引起制品外观不良。特别是，1次蚀刻后为了防止金属的氧化而进行抗氧化剂处理，若抗氧化剂在2次蚀刻中不会被去除或者去除得慢时，容易产生金属层130的残渣现象。

这样的残渣现象使在触摸面板的窗口区域（要显示画面的透明的部分）残留不是透明材料的金属，从而导致触摸面板的不良。

改善上述图1制作工序中问题的另外不同的制作工序的一个例子显示在图2中。

图2显示的方法不同于图1显示的方法，在1次蚀刻中仅去除相当于面板的窗口区域的部分的金属层130，然后在2次蚀刻中只留下金属层130的配线电极图案131和透明导电层120的透明电极图案121部分，而各自去除金属层130和透明导电层120。通过这样的工序，制作在绝缘层110上形成有透明电极图案121和配线电极图案131的垫板。

在图2显示的触摸面板用垫板的制造方法中，首先蚀刻相当于面板的窗口区域的金属层130，从而不产生如同图1显示的制造方法的由抗氧化剂或有机物引起的残渣问题，因此可以实施均匀的蚀刻。即使在蚀刻金属层130和透明导电层120的2次蚀刻中产生由抗氧化剂或残留有机物引起的问题，由于与触摸面板的窗口区域没有关联，因此不成大的问题。

但是就上述图1和图2中显示的以往制造方法而言几乎必须使用抗氧化剂，因此不能完全解决由抗氧化剂引起的残渣问题。

并且，为了提高垫板的透明导电层的特性而进行退火处理的情况下，由于金属层的热氧化，有可能增加金属层的表面电阻值或者产生图案断开的现象。因此，由上述以往制造方法形成的垫板存在不能进行退火处理的问题。

并且，上述以往制造方法中由溅射（sputtering）方式形成金属层的情况下，由于作为透明导电层的ITO是金属氧化物，因此即使在溅射之前进行表面活性化处理也有产生针孔（pin hole）的问题。

发明内容

技术问题

为了解决这样的问题，本发明将提供抑制起因于金属层的蚀刻不良等的残渣现象的触摸面板用垫板的制造方法作为其目的。

并且，将提供能够进行用于提高触摸面板用垫板的透明导电层的特性的退火处理的触摸面板用垫板的制造方法作为其目的。

解决问题的方案