[发明专利]转印装置及树脂图案制造方法无效
申请号: | 201180055033.0 | 申请日: | 2011-11-21 |
公开(公告)号: | CN103210474A | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 坂本宽;白鸟聪;海田由里子 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | H01L21/027 | 分类号: | H01L21/027;B29C59/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 胡烨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 树脂 图案 制造 方法 | ||
1.转印装置,其包括:
具有刚性或柔性的转印构件;
具有刚性或柔性的被转印构件;
对所述转印构件或所述被转印构件中的任一构件的至少一处规定区域涂布固化性树脂的涂布单元;
将所述转印构件和所述被转印构件隔着所述固化性树脂相互转印的转印单元;
使所述固化性树脂固化的固化单元;
将所述转印后的所述转印构件和所述被转印构件相互剥离的剥离单元;其特征在于,
所述转印构件和所述被转印构件中的至少任一构件是具有柔性的构件;
所述转印单元包括:
加压辊,该加压辊一边对所述转印构件或所述被转印构件中的具有柔性的那个构件进行按压,一边相对于所述转印构件或所述被转印构件中的另一个构件平行地送出进行扫描;
张力产生单元,该张力产生单元以所述加压辊为支点,以规定的张力将所述具有柔性的那个构件朝着从所述扫描方向朝前方倾斜的方向牵引。
2.转印装置,其包括:
具有刚性或柔性的转印构件;
具有刚性或柔性的被转印构件;
对所述转印构件或所述被转印构件中的任一构件的至少一处规定区域涂布固化性树脂的涂布单元;
将所述转印构件和所述被转印构件隔着所述固化性树脂相互转印的转印单元;
使所述固化性树脂固化的固化单元;
将所述转印后的所述转印构件和所述被转印构件相互剥离的剥离单元;其特征在于,
所述转印构件和所述被转印构件中的至少任一构件是具有柔性的构件;
所述剥离单元包括:
加压辊,该加压辊一边对所述转印构件或所述被转印构件中的具有柔性的那个构件进行按压,一边相对于所述转印构件或所述被转印构件中的另一个构件平行地收回进行扫描;
张力产生单元,该张力产生单元以所述加压辊为支点,以规定的张力将所述具有柔性的那个构件朝着从所述扫描方向朝前方倾斜的方向牵引。
3.如权利要求1或2所述的转印装置,其特征在于,包括反转单元,该反转单元使所述转印构件或所述被转印构件中的任一个反转。
4.如权利要求1~3中任一项所述的转印装置,其特征在于,包括第一升降辊,该第一升降辊将所述具有柔性的那个构件的一端保持在比所述另一个构件的一端的角部的高度更高的位置,使得所述具有柔性的那个构件在所述角部弯折。
5.如权利要求1~4中任一项所述的转印装置,其特征在于,包括第二升降辊,该第二升降辊朝着所述倾斜方向保持所述具有柔性的那个构件。
6.如权利要求1~5中任一项所述的转印装置,其特征在于,包括:
放出侧导辊,该放出侧导辊引导所述具有柔性的那个构件的放出侧,具有第一张力传感器;
卷取侧导辊,该卷取侧导辊引导所述具有柔性的那个构件的卷取侧,具有第二张力传感器;
放出辊,该放出辊将所述具有柔性的那个构件放出;
卷取辊,该卷取辊将所述具有柔性的那个构件卷取;
基于由所述第一张力传感器检出的张力来驱动所述送出辊;
基于由所述第二张力传感器检出的张力来驱动所述卷取辊。
7.如权利要求1~6中任一项所述的转印装置,其特征在于,所述固化单元具有将紫外线发光元件排列成直线状而成的UV照射机构。
8.如权利要求1~7中任一项所述的转印装置,其特征在于,包括:
测长单元,该测长单元测量所述具有柔性的那个构件的卷出尺寸;
切割单元,该切割单元基于由该测长单元测得的卷出尺寸来切割所述具有柔性的那个构件。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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