[发明专利]液体自动供给机构和具备其的涂布装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种能够防止在液体中混入气泡或颗粒的液体自动供给机构和具备其的涂布装置。

背景技术

在制造液晶显示器的工序中，存在使两块相对的基板贴合并在其间形成液晶层的嵌板工序（也称为单元工序）。特别是在制造大型的面板时，进行在将液晶滴下到贴合前的一个基板之后进行贴合的滴下注入法。

在滴下注入法中，为了将液晶滴下到基板，使用了这样的装置，即具有贮存液晶的容器，并通过气体压力或机械的压力的作用从设置在该容器的喷嘴每次按规定量进行吐出的分配器。

近年来，伴随着液晶显示器的大型化，成为其基础的基板也正在大型化。若基板大型化，则由于液晶的使用量也增加，因此以往在分配器所使用的那样的小的贮存容器（注射器）中变得难以应对。原因在于，在小的贮存容器中液晶马上用完，要频繁地更换容器等，因此，在生产性、作业性方面效率会降低。另外，在更换贮存容器之时，也有混入气泡或异物（以下，称为“颗粒”）的担忧。

对此，进行各种尝试：通过在装置外设置大型的罐，并从那里供给液体材料来解决这些问题。

例如，在专利文献1中，公开了液滴吐出装置，其特征在于，具备装置主体、可载置工件的载置部、具有对工件吐出液滴的多个液滴吐出头部的头部单元、支承头部单元的头部单元支承体、使工件载置部与头部单元支承体相对移动的移动机构、贮存从各液滴吐出头部吐出的吐出液并能够进行更换和/或吐出液的补充的具有至少一个一次罐的一次罐系统、相对于头部单元支承体固定地设置并从一次罐流入吐出液的二次罐、连接一次罐系统与二次罐并从一次罐系统向二次罐供给吐出液的一次流路、以及连接二次罐与头部单元并从二次罐分别向各液滴吐出头部供给吐出液的多条二次流路，一次流路的条数比二次流路的条数少。

另外，在专利文献2中，公开了液晶滴下装置，其特征在于，被构成为，包含：基板所位于的工作台、以能够将液晶滴下或涂布到基板的方式具备注射器和喷嘴的分配器头部、配备在工作台的周边来支承分配器头部的头部支承构件、将滴下或涂布到基板的液晶供给至分配器头部的注射器的供给线路、连结于分配器头部的注射器的供需线路、以及在供给线路与供需线路的连接部配备在任一侧且防止这些线路相互连结或分离时异质物流入的异质物防止盖，通过头部支承构件和分配器头部从工作台的上部分离而移动至供给线路所位于的一侧，从而供需线路连结于供给线路并能够从液晶供给器将液晶填充至注射器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-167430号公报

专利文献2：日本特开2009-172585号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，在文献1的装置中，液体供给流路（管）从罐连接至头部，因而气泡或颗粒难以混入到液体中，另一方面，头部相对移动时管也一起移动，因此，必须预测移动范围而延长管，并保持余量来配设。另外，头部相对移动时管也一起移动也会成为管加速劣化的原因。

另外，在文献2的装置中，以在配管的中途能够分离·连结的方式构成，因而没有液体供给流路（管）所涉及的上述问题，另一方面，存在这样的技术问题：由于成为在连结部接触的机构，因而成为在该部分摩擦而产生颗粒的原因。而且，构成异质物防止盖的铰链或凸轮等部件自身在动作部分摩擦也会成为颗粒产生的原因。

此外，在文献2的装置中，存在这样的技术问题：在连结部中，成为将液体从上直接注入到注射器的机构，因而从上注入的液体敲打积存在下方的液体的液面，此时气泡会混入。

因此，本发明的目的在于，提供一种解决上述技术问题的液体自动供给机构和具备其的涂布装置。

解决技术问题的技术手段

发明人为了消除因暂时或一直物理地连接液体材料贮存部和吐出装置而引起的弊病，采用了使液体材料贮存部与吐出装置一直分离的结构。此外，可以提供一种通过设置消除由使液体材料贮存部与吐出装置一直分离而产生的气泡的弊病的气泡除去机构来使气泡不流入到吐出装置的液体自动供给机构和具备其的涂布装置。

即，第1发明涉及一种液体自动供给机构，其特征在于，具备：贮存液体材料的液体贮存部；具有供给贮存在液体贮存部的液体材料的供给口的供给部；具有接受从供给部排出的液体材料的接受口和气泡除去机构的接受部；以及使接受部移动的接受部驱动装置，接受部移动至接受口位于供给口的正下方的接受位置，从供给口接受液体材料的滴下供给，并将气泡被气泡除去机构除去了的液体材料供给吐出装置。