[发明专利]微机电系统可变电容器

权利要求书

1.一种微机电系统可变电容器，所述电容器特征在于：

第一电极；

第二电极，该第二电极悬置于所述第一电极之上；

固定的第三电极，该第三电极能够通过调节所述第一电极和所述第二电极之间的间隙来可变地调节电容值。

2.如权利要求1所述的微机电系统可变电容器，其中所述第二电极通过弹簧结构而相对于所述第一电极悬置。

3.如权利要求1所述的微机电系统可变电容器，其中从所述第一电极向所述第二电极施加射频信号。

4.一种微机电系统可变电容器，所述电容器特征在于：

第一电极；

第二电极，该第二电极与所述第一电极相分离；

第三电极，该第三电极悬置于所述第一电极和第二电极之上；

第四电极，所述第四电极通过弹簧结构连接至所述第三电极；

第五电极，所述第五电极形成为与所述第四电极相对，用于通过向所述第四电极施加电压来调节所述第一电极/第二电极与所述第三电极之间的间隙，从而调节电容值。

5.如权利要求4所述的微机电系统可变电容器，还包括支撑所述弹簧结构的部分区域的支撑结构。

6.如权利要求4所述的微机电系统可变电容器，其中所述弹簧结构、所述支撑结构、所述第四电极和所述第五电极被分别成对地提供，一对弹簧结构中的各弹簧结构被连接至所述第三电极的两个侧面的末端，并连接至一对第四电极，其中所述的一对弹簧结构的每个部分区域由每一对支撑结构支撑，且所述第五电极中的每一个与所述第四电极中的每一个相对。

7.如权利要求6所述的微机电系统可变电容器，其中如果从所述第五电极向所述第四电极施加电压，则通过该对支撑结构的上下摆动的驱动，所述第三电极具有从所述第一电极和所述第二电极升起的位移。

8.如权利要求4所述的微机电系统可变电容器，其中所述第一电极、所述第二电极和所述第五电极被固定于衬底。