[发明专利]曝光装置

权利要求书

1.一种曝光装置，其特征在于，

具备透镜组装体，该透镜组装体形成为能够在载置被曝光体的台架和形成有掩模图案的光掩模之间且在与所述被曝光体的面及所述光掩模的面平行的面内移动，并且，该透镜组装体在与所述移动方向交叉的方向上具有排列成一列的多个单位透镜组装体，所述多个单位透镜组装体在与所述移动方向交叉的方向上以固定的排列间距排列多个透镜组而形成多个透镜列，所述多个透镜组构成为能够将所述光掩模的掩模图案的等倍正立像成像到所述被曝光体表面上，

各个所述单位透镜组装体以使各个所述透镜列的各个透镜组与相对于所述透镜组装体的移动方向倾斜交叉的轴线平行地排列的方式将各个所述透镜列在与所述移动方向交叉的方向上相互错开固定量而形成，并且各个所述单位透镜组装体形成与所述轴线平行地切除相互相邻的端部的结构，而且，各个所述透镜列的透镜组配置成在所述透镜组装体的整体上以固定的排列间距排列。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

在各个所述单位透镜组装体中，以在所述透镜组装体的移动方向上观察时各个所述透镜组的一部分重叠的方式使各个透镜列在与所述移动方向交叉的方向上相互错开。

3.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

各个所述单位透镜组装体构成为，使在透明的基板的表背面上相互对应而形成有多个凸透镜的第一、第二、第三及第四透镜阵列以对应的各凸透镜的光轴一致的方式重合，并且使所述光掩模的掩模图案的中间倒立像成像到所述第二透镜阵列与所述第三透镜阵列之间。

4.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，

在各个所述单位透镜组装体中，与所述第三透镜阵列的位于光的行进方向上游侧的凸透镜的表面接近而设置具有规定形状的开口的第一光阑，从而将基于透镜组得到的曝光区域限制在透镜的中央部。

5.根据权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，

所述第一光阑的开口以如下方式形成对其一部分进行遮光的形状，即，在俯视下矩形形状的开口中，在所述透镜组装体的移动方向上观察时，所述第一光阑的开口与相邻的第一光阑的开口的一部分重叠的部分的面积成为所述重叠的部分整体的面积的一半。

6.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，

在各个所述单位透镜组装体中，与所述第四透镜阵列的位于光的行进方向上游侧的透镜表面接近而设置限制光束直径的第二光阑。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的曝光装置，其特征在于，

所述台架能够将所述被曝光体向一个方向输送，

所述透镜组装体在所述台架的移动暂时停止的状态下移动。