[发明专利]用于用MSM-合金制造单晶体的方法有效
| 申请号: | 201180026480.3 | 申请日: | 2011-05-26 |
| 公开(公告)号: | CN102918673A | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
| 发明(设计)人: | M.劳芬伯格;E.帕古尼斯;A.德雷弗曼;L.斯特茨 | 申请(专利权)人: | ETO电磁有限责任公司 |
| 主分类号: | H01L41/20 | 分类号: | H01L41/20;C30B11/00 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 贾静环 |
| 地址: | 德国施*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 msm 合金 制造 单晶体 方法 | ||
1.用于由单晶MSM-体制造具有沿第一晶轴的晶体取向的MSM-执行元件的方法,所述方法通过将熔融后的合金材料置入型壳以及接下来使合金材料凝固,具有下列步骤:
-设置具有成核区域(24)、选择器区域(26)以及晶体区域(28)的、至少部分沿纵轴(22)取向的型壳,
-将熔融后的MSM-合金材料,尤其是NiMnGa-基的合金材料,置入型壳,而不设单独的籽晶,
-通过生成沿凝固路径从成核区域经由选择器区域运动进入晶体区域的凝固正面来使MSM-合金材料固化,
其中,凝固路径在晶体区域中沿纵轴延伸,在选择器区域中形成了从纵轴偏转的区域,其相对纵轴的最大偏转要大于选择器区域中的最大横截面宽度,以及
纵轴(22)具有偏离第一晶轴的小于10°、优选小于6°、进一步优选小于3°的角度偏差,以及
-将凝固后的MSM-合金材料拆分成多个MSM-执行元件。
2.按权利要求1所述的方法,其特征在于,凝固路径在选择器区域中形成了利用两个弯折区段以锯齿状偏转的区域,该区域的入口侧和出口侧优选与纵轴对齐地取向。
3.按权利要求1所述的方法,其特征在于,凝固路径在选择器区域中形成了螺旋形或锯齿形的区域。
4.按权利要求1至3中任一项所述的方法,其特征在于,纵轴垂直于配属于成核区域的平坦的冷却装置,所述冷却装置尤其是冷板。
5.按权利要求1至4中任一项所述的方法,其特征在于,伸长地沿着纵轴伸展的晶体区域具有>3cm2、尤其是>7cm2、特别也大于12cm2的针对凝固正面的有效横截面积。
6.按权利要求1至5中任一项所述的方法,其特征在于,MSM-合金材料为了生成凝固正面而被这样冷却,使得在选择器区域中产生的与凝固正面相邻的熔融物中的温度梯度在0.3K/mm至20K/mm之间,尤其在1K/mm至15K/mm之间。
7.按权利要求1至6中任一项所述的方法,其特征在于,MSM-合金材料为了生成凝固正面而被这样处理,尤其是通过影响在型壳和温度梯度之间的相对速度,使得凝固正面在选择器区域中以在0.1mm/min和50mm/min之间、尤其在0.3mm/min和5mm/min之间的速度沿凝固路径运动。
8.按权利要求1至7中任一项所述的方法,其特征在于,凝固正面沿着凝固路径运动通过至少部分在横截面上呈矩形、尤其是正方形的选择器区域和/或晶体区域。
9.按权利要求8所述的方法,其特征在于,晶体区域的横截面呈矩形的内轮廓,在至少与第一晶轴正交的第二晶轴中确定了单晶凝固的MSM-合金材料的晶体取向。
10.按权利要求1至9中任一项所述的方法,其特征在于,合金材料在组成NiaMnbGacCodFeeCuf中具有Ni、Mn、Ga以及至少Co,其中,a、b、c、d、e和f用原子百分比给出,以及满足如下条件:
44≤a≤51;
19≤b≤30;
18≤c≤24;
0.1≤d≤15;
0≤e≤14.9;
0≤f≤14.9;
d+e+f≤15;
a+b+c+d+e+f=100。
11.按权利要求1至10中任一项所述的方法,其特征在于,MSM-合金材料沿多个彼此相邻且彼此分开的凝固路径进行固化。
12.按权利要求1至11中任一项所述的方法,其特征在于将在晶体区域中凝固的MSM-合金材料划分成多个MSM-执行元件,而不用预先利用测量技术求出在凝固的MSM-合金材料中的晶体取向。
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