[发明专利]辐射热计及其制造方法

权利要求书

1.一种辐射热计，包括：

衬底；

在所述衬底上形成的绝热层；

在所述绝热层上形成的热敏电阻器；以及

在所述热敏电阻器与所述衬底之间形成的光反射膜。

2.根据权利要求1所述的辐射热计，

其中所述绝热层由派瑞林制成。

3.根据权利要求1或2所述的辐射热计，

其中所述热敏电阻器与所述光反射膜之间的中间层膜由派瑞林制成。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的辐射热计，

其中所述衬底由树脂制成。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的辐射热计，还包括：

在所述热敏电阻器附近形成且与所述热敏电阻器热耦合的光吸收层。

6.根据权利要求5所述的辐射热计，

其中所述光吸收层包含碳纳米管。

7.根据权利要求5所述的辐射热计，

其中所述光吸收层由有机材料制成。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的辐射热计，

其中所述热敏电阻器包含碳纳米管。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的辐射热计，

其中所述热敏电阻器包含硅和锗。

10.一种制造辐射热计的方法，该方法包括：

在衬底上形成光反射膜；

在所述衬底和所述光反射膜上形成绝热层；以及

在所述绝热层上形成热敏电阻器。