[发明专利]表面流体液滴的非接触检测

权利要求书

1.用于检测衬底上的流体的系统，包括：

传感器板；

安装在所述传感器板上的第一电容传感器，所述第一电容传感器具有用于发射信号的发射传感器焊盘、用于接收所述信号的接收传感器焊盘以及与所述接收传感器焊盘相连接的用于分析接收到的所述信号的模数转换器；以及

平台，其上将放置所述衬底，其中所述平台离所述发射和接收传感器焊盘有第一距离。

2.如权利要求1所述的系统，其中所述平台包括通常相对地面保持水平的安装面。

3.如权利要求1所述的系统，其中所述平台包括安装面，所述安装面上将放置所述衬底，其中所述平台与旋转装置相连接以使所述平台绕垂直于所述安装面的中心轴旋转。

4.如权利要求1所述的系统，其中所述第一距离小于10mm。

5.如权利要求1所述的系统，其进一步包括安装在所述传感器板上邻近所述第一电容传感器的第二电容传感器以形成电容传感器阵列。

6.如权利要求1所述的系统，其中所述平台在相对于所述传感器板的第一方向上移动，其中焊盘间隙在所述发射焊盘和所述接收焊盘之间沿着第二方向形成，且其中所述焊盘间隙的所述第二方向不平行于或正切于所述第一方向。

7.如权利要求1所述的系统，其中所述平台是传送机系统。

8.用于衬底上的流体的检测的方法，包括：

将衬底放置在流体检测器下面的平台上，其中所述流体检测器包括传感器板和安装在所述传感器板上的第一电容传感器；以及

测量所述电容传感器的电容；以及

基于测定的所述电容传感器的所述电容确定所述衬底上是否有流体。

9.如权利要求8所述的方法，其进一步包括移动在所述流体检测器下面的所述衬底并在所述衬底被移动的过程中测量所述第一电容传感器的电容的任何改变。

10.如权利要求8所述的方法，其进一步包括如果确定所述衬底上有流体，则发出警报。

11.如权利要求8所述的方法，其中所述第一电容传感器具有用于发射信号的发射传感器焊盘、用于接收所述信号的接收传感器焊盘以及与所述接收传感器焊盘相连接的用于分析接收到的所述信号的模数转换器。

12.如权利要求8所述的方法，其进一步包括沿旋转方向移动在所述流体检测器下面的所述衬底。

13.用于检测衬底上的流体的装置，包括：

被设置为离平台一定距离的第一电容传感器，在所述平台上将放置所述衬底，所述第一电容传感器具有用于发射电容信号的发射传感器焊盘、用于接收所述电容信号的接收传感器焊盘以及与所述接收传感器焊盘相连接的用于分析接收到的所述电容信号并确定所述第一电容传感器的电容的任何改变的模数转换器，其中当传送所述电容信号时，所述电容传感器能够在所述发射传感器焊盘和所述接收传感器焊盘之间形成电场，且其中所述电场能够传播到所述平台上的衬底的表面；以及

与所述模数转换器相连接的检测电路，其包括执行模式识别和决策算法的微处理器，其中所述检测电路用于通过确定所述电场的任何改变来分析所述第一电容传感器的电容的任何改变，然后确定所述平台上的衬底的表面上是否存在任何流体。

14.如权利要求13所述的装置，其中所述发射传感器焊盘和所述接收传感器焊盘二者都被安装在所述平台上方。

15.如权利要求13所述的装置，其中所述第一电容传感器能够测量100皮可法拉或更小的电容改变，解析度为5毫微微法拉或更小。

16.如权利要求13所述的装置，其中所述第一电容传感器具有至少5Hz的采样率。

17.如权利要求13所述的装置，其中当传送所述电容信号时，所述第一电容传感器在所述发射传感器焊盘和所述接收传感器焊盘之间产生边缘场，其中所述边缘场从所述发射传感器焊盘或所述接收传感器焊盘向外延伸至少2毫米。

18.如权利要求13所述的装置，其中在所述发射焊盘和所述接收焊盘之间形成焊盘间隙，且其中所述焊盘间隙小于1毫米。

19.如权利要求18所述的装置，其中所述焊盘间隙形成交叉指状模式。

20.如权利要求13所述的装置，其中电容传感器阵列被安装在所述传感器板上，其中所述阵列的长度是100mm或更长。