[发明专利]蓝宝石研磨用浆液和蓝宝石的研磨方法无效
| 申请号： | 201180021088.X | 申请日： | 2011-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102869478A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 细井大祐;繁田岳志 | 申请（专利权）人： | 日本百考基株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 研磨 浆液 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种蓝宝石研磨用浆液，其特征在于，其包含氧化铝磨粒，pH在10.0～14.0的范围内。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石研磨用浆液，其特征在于，上述氧化铝磨粒的含量在0.01～50重量%的范围内。
3.根据权利要求1或2所述的蓝宝石研磨用浆液，其特征在于，上述氧化铝磨粒的平均粒径在0.05～10μm的范围内。
4.根据权利要求1～3中任何一项所述的蓝宝石研磨用浆液，其特征在于，上述氧化铝结晶相的α化率在1～100%的范围内。
5.一种蓝宝石的研磨方法，其特征在于，通过权利要求1～4中任何一项所述的蓝宝石研磨用浆液对蓝宝石的表面进行化学机械研磨。
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