[发明专利]彩色滤光片基板的曝光方法

权利要求书

1.一种彩色滤光片基板的曝光方法，上述彩色滤光片基板具有矩形状的显示区域、一对第一非显示区域以及一对第二非显示区域，在上述显示区域上设置多个着色像素及多个光间隔物，在上述第一非显示区域及上述第二非显示区域上设置多个伪光间隔物，上述显示区域具有在第一方向上延伸的一对边、以及在与上述第一方向正交的第二方向上延伸的一对边，上述第一非显示区域沿着上述第一方向上的各边，上述第二非显示区域沿着上述第二方向上的各边，该曝光方法具备以下工序：

形成第一层的工序，一边在上述第一方向上搬运涂布有第一颜色的光阻剂的基板，一边间歇地进行多次曝光，在上述第一非显示区域内形成第一层，该第一层由与形成上述第一颜色的着色像素的材料相同的材料构成，并构成第一伪光间隔物；以及

形成第二层的工序，一边在上述第二方向上搬运涂布有第二颜色的光阻剂的基板，一边间歇地进行多次曝光，在上述第二非显示区域内形成第二层，上述第二层由与形成上述第二颜色的着色像素的材料相同的材料构成，并构成第二伪光间隔物。

2.根据权利要求1所述的彩色滤光片基板的曝光方法，其特征在于，还具备：形成第三层及第四层的工序，通过对涂布有第三颜色的光阻剂的基板进行一次曝光，来形成与上述第一非显示区域内的上述第一层一起层积的第三层、及与上述第二非显示区域内的上述第二层一起层积的第四层，其中，上述第三层由与形成上述第三颜色的着色像素的材料相同的材料构成，并构成上述第一伪光间隔物，上述第四层由与形成上述第三颜色的着色像素的材料相同的材料构成，并构成第二伪光间隔物，

形成上述第一层的工序、形成上述第二层的工序、以及形成上述第三层及上述第四层的工序按任意顺序进行。

3.根据权利要求1所述的彩色滤光片基板的曝光方法，其特征在于，还具备：形成第三层及第四层的工序，通过一边在上述第一方向上搬运涂布有第三颜色的光阻剂的基板，一边间歇地进行多次曝光，来形成与上述第一非显示区域内的上述第一层一起层积的第三层，并通过一边在第二方向上搬运上述基板，一边间歇地进行多次曝光，来形成与上述第二非显示区域内的上述第二层一起层积的第四层，其中，上述第三层由与形成上述第三颜色的着色像素的材料相同的材料构成，并构成第一伪光间隔物，上述第四层由与形成上述第三颜色的着色像素的材料相同的材料构成，并构成上述第二伪光间隔物，

形成上述第一层的工序、形成上述第二层的工序、以及形成上述第三及上述第四层的工序按任意顺序进行。

4.根据权利要求2所述的彩色滤光片基板的曝光方法，其特征在于，还具备：形成第五层及第六层的工序，通过对涂布有第四颜色的光阻剂的基板进行一次曝光，来形成与上述第一非显示区域内的上述第一层及上述第三层一起层积的第五层、及与上述第二非显示区域内的上述第二层及上述第四层一起层积的第六层，其中，上述第五层由与形成上述第四颜色的着色像素的材料相同的材料构成，并构成上述第一伪光间隔物，上述第六层由与形成上述第四颜色的着色像素的材料相同的材料构成，并构成上述第二伪光间隔物，

形成上述第一层的工序、形成上述第二层的工序、形成上述第三层及上述第四层的工序、以及形成上述第五及第六层的工序按任意顺序进行。

5.根据权利要求1所述的彩色滤光片基板之曝光方法，其特征在于，还具备下述工序：

形成第三层的工序，通过一边在上述第一方向上搬运涂布有第三颜色的光阻剂的基板，一边间歇地进行多次曝光，来形成与上述第一非显示区域内的上述第一层一起层积的第三层，上述第三层由与形成上述第三颜色的着色像素的材料相同的材料构成，并构成上述第一伪光间隔物；以及

形成第四层的工序，通过一边在上述第二方向上搬运涂布有第四颜色的光阻剂的基板，一边间歇地进行多次曝光，来形成与上述第二非显示区域内的上述第二层一起层积的第四层，上述第四层由与形成上述第四颜色的着色像素的材料相同的材料构成，并构成上述第二伪光间隔物；

形成上述第一层的工序、形成上述第二层的工序、形成上述第三层的工序及形成上述第四层的工序按任意顺序进行。