[实用新型]碎硅片冲洗箱有效
| 申请号： | 201120531510.3 | 申请日： | 2011-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN202398593U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 吴奇军;孙超;朱泓 | 申请（专利权）人： | 江苏宏宝光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215618 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 冲洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种碎硅片冲洗箱，其特征在于：包括外层箱体(1)和内层箱体(2)；所述外层箱体(1)的四个侧面上设有水孔(3)，底面为过滤网；所述内层箱体(2)小于外层箱体(1)，并置于外层箱体(1)内，其箱口四边分别搭在外层箱体(1)箱口四边上；所述内层箱体(2)包括带有水孔(3)部分和不带有水孔(3)部分，一侧壁和相邻两侧壁的一半带有水孔(3)，另一侧壁和相邻两侧壁的一半不带有水孔(3)，其中不带有水孔(3)的侧壁呈向外倾斜状，形成一个向外倾斜的内侧壁面。
2.如权利要求1所述的碎硅片冲洗箱，其特征在于：所述外层箱体(1)和内层箱体(2)为不锈钢材质制成的。
3.如权利要求1所述的碎硅片冲洗箱，其特征在于：所述水孔(3)的孔径为5mm。
4.如权利要求1所述的碎硅片冲洗箱，其特征在于：所述外层箱体(1)的底面为60目的过滤网。
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