[实用新型]热电偶清洗保护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种热电偶清洗保护装置。

背景技术

热电偶是一种测温元件，其利用将两种不同材料的电偶丝焊接起来，构成一个闭合回路，当两导体的两个执着点之间存在温差时，两者之间便产生电势差，当接上显示仪表时，仪表上就显示出同热电偶所产生的热电动势对应的温度值。

半导体制造工业中使用的沉积炉管就采用热电偶实时测量炉管温度。沉积炉管使用一段时间后，炉管内壁及置于炉管内的器件的表面上会有沉积化学反应附产物的结晶，为保证沉积炉管使用时的洁净度，需要定期清洗炉管内壁及置于炉管内的器件。但是，目前还没有专门用于清洗热电偶的清洗设备，现有技术中，或者用新的热电偶替换需要清洗的热电偶，免去清洗热电偶，即热电偶使用过一次后直接报废，或者借用其他器件的清洗设备来清洗热电偶。由于热电偶的造价比较昂贵，使用过一次后就报废大大增加了半导体器件的制造成本，因此，当经费不足时，往往借用其他器件的清洗设备来清洗热电偶。为防止清洗热电偶的过程中，酸性清洗液蒸汽对热电偶后端信号线及信号线插头的腐蚀，通常采用防酸手套将热电偶后端信号线及信号线插头包裹起来，再用扎带扎靳，以防止酸性清洗液蒸汽与信号线及信号线插头接触。然而，这种方法存在诸多弊端：第一，不能确保扎带、手套与信号线及信号线插头之间紧实密封，有酸性清洗液蒸汽侵入的风险；第二，扎带和手套的材质可能会污染酸性清洗液蒸汽，影响清洗制程的稳定；第三，因为借助其他器件的清洗设备来清洗热电偶，清洗设备没有专门用于搁置热电偶的部件，因此，热电偶与清洗设备之间不能牢靠固定，带来热电偶跌落导致损坏的可能。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种热电偶清洗保护装置，能有效防止酸性清洗液蒸汽对热电偶后端信号线及信号线插头的腐蚀。

为了达到上述的目的，本实用新型提供一种热电偶清洗保护装置，包括保护盒和密封环；所述保护盒上设有一孔，所述密封环卡在所述孔内，与所述孔形成密封连接。

上述热电偶清洗保护装置，其中，所述保护盒上设有安装部件。

上述热电偶清洗保护装置，其中，所述保护盒为铁氟龙材料制成的盒体。

上述热电偶清洗保护装置，其中，所述保护盒呈箱体状，所述孔设置在箱体一表面上。

上述热电偶清洗保护装置，其中，所述保护盒包括第一半盒和第二半盒，所述第一半盒与第二半盒活动连接。

上述热电偶清洗保护装置，其中，所述第一半盒和第二半盒均为一端开口的腔体，所述第一半盒的开口端与所述第二半盒的开口端相对，所述第一半盒开口端的一边沿与其对应的第二半盒开口端的边沿活动连接，所述第一半盒开口端的另一边沿上设有半圆孔，所述第二半盒开口端的另一边沿上设有半圆孔，所述第一半盒的半圆孔与所述第二半盒的半圆孔相对。

上述热电偶清洗保护装置，其中，所述第一半盒设有半圆孔的边沿上设有多个第一紧固部件，所述第二半盒设有半圆孔的边沿上设有多个第二紧固部件，所述多个第一紧固部件与所述多个第二紧固部件一一相对。

上述热电偶清洗保护装置，其中，每个半盒上至少设有一个安装部件。

本实用新型的热电偶清洗保护装置利用保护盒放置热电偶后端的信号线及信号线插头，利用密封环使保护盒与密封环、密封环与热电偶的石英管都形成密封连接，能有效防止酸性清洗液蒸汽进入保护盒内，确保信号线及信号线插头在清洗过程中不被酸性清洗液蒸汽腐蚀。

附图说明

本实用新型的热电偶清洗保护装置由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型实施例一的热电偶清洗保护装置的示意图。

图2是热电偶的示意图。

图3是本实用新型实施例二的热电偶清洗保护装置的示意图。

具体实施方式

以下将结合图1～图3对本实用新型的热电偶清洗保护装置作进一步的详细描述。

实施例一

参见图1，本实施例的热电偶清洗保护装置包括一保护盒11和一密封环12；

所述保护盒11的一表面111上设有一孔112，所述密封环12卡在所述孔112内，与所述孔112形成密封连接。

所述保护盒11呈箱体状。