[实用新型]热电偶清洗保护装置有效
| 申请号: | 201120513799.6 | 申请日: | 2011-12-09 |
| 公开(公告)号: | CN202372262U | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
| 发明(设计)人: | 曹肖肖;杨文 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号: | G01K1/10 | 分类号: | G01K1/10 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
| 地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 热电偶 清洗 保护装置 | ||
1.一种热电偶清洗保护装置,其特征在于,包括保护盒和密封环;所述保护盒上设有一孔,所述密封环卡在所述孔内,与所述孔形成密封连接。
2.如权利要求1所述的热电偶清洗保护装置,其特征在于,所述保护盒上设有安装部件。
3.如权利要求1所述的热电偶清洗保护装置,其特征在于,所述保护盒为铁氟龙材料制成的盒体。
4.如权利要求1所述的热电偶清洗保护装置,其特征在于,所述保护盒呈箱体状,所述孔设置在箱体一表面上。
5.如权利要求1所述的热电偶清洗保护装置,其特征在于,所述保护盒包括第一半盒和第二半盒,所述第一半盒与第二半盒活动连接。
6.如权利要求5所述的热电偶清洗保护装置,其特征在于,所述第一半盒和第二半盒均为一端开口的腔体,所述第一半盒的开口端与所述第二半盒的开口端相对,所述第一半盒开口端的一边沿与其对应的第二半盒开口端的边沿活动连接,所述第一半盒开口端的另一边沿上设有半圆孔,所述第二半盒开口端的另一边沿上设有半圆孔,所述第一半盒的半圆孔与所述第二半盒的半圆孔相对。
7.如权利要求6所述的热电偶清洗保护装置,其特征在于,所述第一半盒设有半圆孔的边沿上设有多个第一紧固部件,所述第二半盒设有半圆孔的边沿上设有多个第二紧固部件,所述多个第一紧固部件与所述多个第二紧固部件一一相对。
8.如权利要求5所述的热电偶清洗保护装置,其特征在于,每个半盒上至少设有一个安装部件。
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