[实用新型]真空低压渗碳设备渗碳气体送排系统精确控制装置

权利要求书

1.一种真空低压渗碳设备渗碳气体送排系统精确控制装置，在真空低压渗碳设备炉胆内设有几组渗碳气体喷嘴，每组喷嘴都有独立的三条供气管路，分别提供乙炔气、氨气和高纯氮气，其特征在于：在每条供气管路的进气端均各自安装有质量流量计、电磁阀，在三条供气管路的出口处，装有一个对所充三种气体进行混合的混合器；在所述的真空低压渗碳设备的抽真空管路中，设有可捕集炭黑的炭黑捕集器。

2.根据权利要求1所述的真空低压渗碳设备渗碳气体送排系统精确控制装置，其特征在于：所述的真空低压渗碳设备与工控机相连，由可编程序控制器在工控机的管控下遂行各设定程序，完成逻辑动作控制、对炉外充气管路、炉内充气管路以及抽气管路的控制。