[实用新型]显影机废液箱报警控制装置及显影控制系统

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及半导体生产领域，特别是涉及一种显影机废液箱报警控制装置，还涉及一种显影控制系统。

【背景技术】

传统的显影机的废液箱直接通过一根管连接到显影腔室，显影腔室里的显影液废液、漂洗液废液直接排到废液箱里面，废液箱里面的液满之后操作员再去把显影机停下，将废液箱里面的废液放完之后再重新继续显影。

然而，这种结构的主要缺点是需要操作员不定时地去查看废液箱是否已满，会出现操作员由于忙于做其它工作而忘记查看，引起废液溢出的情况。因为显影液、漂洗液是较刺鼻的化学试剂，吸入后会影响人的健康，所以每次废液溢出之后车间所有的员工都需要疏散出去，待溢出的废液处理完成后再返回车间工作。每次都至少会影响1个小时的生产。

【实用新型内容】

为了解决废液溢出的问题，有必要提供一种显影机废液箱报警控制装置。

一种显影机废液箱报警控制装置，包括报警控制子模块，所述报警控制子模块包括：液位传感器，用于在废液箱液位到达设定阈值时向继电器线圈发送上电信号；继电器，包括所述继电器线圈及继电器触点组；所述继电器线圈连接所述液位传感器，接收到所述上电信号后上电；继电器触点组的第一常开触点一端连接地线，另一端在所述继电器线圈上电时向显影机输出停止显影的控制信号；提醒单元，与所述继电器触点组的第二常开触点串联，在所述继电器线圈上电时第二常开触点闭合使提醒单元得电进行提醒。

优选的，所述报警控制子模块的数量为三个以上。

优选的，所述提醒单元是指示灯。

优选的，所述显影机废液箱报警控制装置还包括蜂鸣器，所述报警控制子模块还包括用于控制蜂鸣器工作的控制开关，所述控制开关包括相互串联的开关和继电器触点组中的第三常开触点，所述控制开关一端连接所述蜂鸣器的一端，另一端与蜂鸣器的另一端分别连接电源的正/负极。

优选的，所述液位传感器安装于所述废液箱上。

还有必要提供一种显影控制系统。

一种显影控制系统，包括显影机，还包括显影机废液箱报警控制装置，所述显影机废液箱报警控制装置包括报警控制子模块，所述报警控制子模块包括：液位传感器，用于在废液箱液位到达设定阈值时向继电器线圈发送上电信号；继电器，包括所述继电器线圈及继电器触点组；所述继电器线圈连接所述液位传感器，接收到所述上电信号后上电；继电器触点组的第一常开触点一端连接地线，另一端在所述继电器线圈上电时向所述显影机输出停止显影的控制信号；提醒单元，与所述继电器触点组的第二常开触点串联，在所述继电器线圈上电时第二常开触点闭合使提醒单元得电进行提醒。

优选的，所述报警控制子模块的数量为三个以上。

优选的，所述提醒单元是指示灯。

优选的，所述显影机废液箱报警控制装置还包括蜂鸣器，所述报警控制子模块还包括用于控制蜂鸣器工作的控制开关，所述控制开关包括相互串联的开关和继电器触点组中的第三常开触点，所述控制开关与蜂鸣器串联。

优选的，所述液位传感器安装于所述废液箱上。

上述显影机废液箱报警控制装置和显影系统，液位传感器检测到废液箱液位到达设定阈值时发出停止显影的控制信号，显影机停止工作不再产生新的废液，因而杜绝了废液箱废液溢出的现象，不会再因此而影响车间的生产，提高了生产效率及生产的安全性。

【附图说明】

图1是一实施例中报警控制子模块的电路结构图；

图2是一实施例中液位传感器使用时的安装结构示意图；

图3是一实施例中显影机废液箱报警控制装置的电路结构图。

【具体实施方式】

为使本实用新型的目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

图1是一实施例中报警控制子模块的电路结构图，报警控制子模块包括液位传感器S1、继电器和提醒单元L1。

液位传感器S1用于在废液箱液位到达设定阈值时向继电器线圈CR10发送上电信号。

继电器包括所述继电器线圈CR10及继电器触点组。继电器线圈CR10连接液位传感器S1，接收到上电信号后上电。继电器触点组的第一常开触点CR11一端连接地线，另一端连接相应的显影机或显影机的控制模块，在继电器线圈CR11上电时向显影机输出停止显影的控制信号。