[实用新型]一种在线监控PE镀膜均匀性的装置有效
申请号: | 201120335722.4 | 申请日: | 2011-09-08 |
公开(公告)号: | CN202259386U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 黄燕 | 申请(专利权)人: | 浙江向日葵光能科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 绍兴市越兴专利事务所 33220 | 代理人: | 张谦 |
地址: | 312071 浙江省绍兴市袍江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 在线 监控 pe 镀膜 均匀 装置 | ||
技术领域
本实用新型公开一种在线监控PE镀膜均匀性的装置,属于太阳电池制造领域。
背景技术
在晶体硅太阳电池的制备过程中,氮化硅膜对太阳能电池起钝化、减反射、保护发射区的作用,可提高太阳电池的光生电流,同时降低暗电流与提高开压,因此氮化硅薄膜制备工序在太阳电池工艺中起着较为重要的作用。氮化硅膜均匀性的好坏直接影响着太阳能电池片的外观及性能,在丝网印刷前要将镀膜不均匀的片子挑出,此挑出的不合格镀膜片可以返工处理,用一定浓度的氢氟酸浸泡就能去除其氮化硅膜,可再次镀膜以达到均匀的氮化硅膜;如果不合格片不挑出,经过丝网印刷工序,则其产生的电池片都为色差片及电性能低下片,此电池片经多道印刷及高温烧结,不能再返工处理。如果在丝网印刷前不将PE(等离子增强型化学气相沉积)镀膜的不合格片子挑出,会极大影响电池片表面质量及电性能,会造成大量的色差片及低效率片,这就会影响太阳能电池产线的正常生产,以至于影响太阳能电池片的外观及质量。
发明内容
为解决上述问题,本实用新型提供一种在线监控PE镀膜均匀性的装置。
为实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案为:
一种在线监控PE镀膜均匀性的装置,包括安装在支架上端的平面镜,且平面镜的镜面朝上。
作为上述方案的进一步设置,所述平面镜水平安装在支架的上端或者平面镜呈倾斜角度安装在支架的上端。
所述支架的底部安装有滑轮。
本实用新型是一种在丝网印刷前在线监控PE镀膜均匀性的装置,该装置放在丝网印刷第一台印刷头前的传送带(传送带包括左右两条平行设置且同步的小传送带,两条小传送带之间存在一定的间距)下面,PE镀膜后的片子经过传送带时,可从该装置的平面镜上清楚地看到电池片镀膜后的外观情况。一旦发现PE镀膜不均匀的片子,就直接将其取出,可以有效防止PE镀膜后的不合格片子流入丝网印刷工序而造成色差片及低效率片。滑轮的设置可便于移动。另外,支架的优选尺寸以从平面镜上看到整张完整的电池片为宜,支架要低于印刷台的传送带高度,平面镜尺寸优选要能刚好装进支架框。
总之,本实用新型的有益效果是:1、能在丝网印刷前在线监控PE镀膜均匀性,在电池片进入丝网印刷第一台印刷头前能将PE镀膜的不均匀片子挑出,能有效地减少产生外观不合格的电池片,提高电池片良品率及电性能参数指标。2、目前平板PE镀膜后的电池片由机器自动取片,镀膜面朝下放进花篮,在PE后根本没有办法看到镀膜的效果,如果要查看PE镀膜的均匀性只能用手一片片地取出查看,在手动查看的过程中极易造成碎片,用此方法在线监控PE镀膜均匀性可以减少碎片率;3、用此方法在线监控PE镀膜均匀性能,在进入第一台印刷前将不合格镀膜片挑出,能有效减少不合格电池片的产生,且在线监控装置结构设计简单,使用方便。4、该装置测量方便迅速,对电池片不会造成损伤,在光线充足的情况下用裸眼就可以一目了然地查看镀膜均匀性,是一种十分理想的检测PE镀膜均匀性的设备。
以下结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型一种在线监控PE镀膜均匀性的装置,包括安装在支架2上端的平面镜1,且平面镜1的镜面4朝上。
本实用新型优选的方案为:平面镜1呈倾斜角度安装在支架2的上端。当然,平面镜1也可以水平安装在支架2的上端。具体要根据现场的设备情况来布置,并以方便检测员观察为主。
支架2的底部安装有滑轮3。
上述实施例仅用于解释说明本实用新型的发明构思,而非对本实用新型权利保护的限定,凡利用此构思对本实用新型进行非实质性的改动,均应落入本实用新型的保护范围。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的