[实用新型]真空系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜技术领域，尤其是一种用于真空卷绕镀膜机的真空系统。

背景技术

真空镀膜装置，在蒸镀时，其对真空室内真空度的要求较高，真空室的真空度控制直接影响镀膜的效果。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空系统，其通过将真空室分为两个独立的真空室进行真空度控制，不仅能够更好的控制室内真空度，而且也也满足基膜对真空室内不同真空度的要求。

为了达到上述设计目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种真空系统，包括并排设置的上密封室和下密封室，所述上密封室通过管路依次接通上室罗茨泵和上室旋片泵，所述上室罗茨泵与上密封室之间的管路上还设有上室精抽阀和上室电阻规，所述上密封室还通过管路接通放气阀，所述上密封室通过管路接入深冷泵，深冷泵的输出端从上密封室延伸到下密封室；所述下密封室通过管路依次连接到下室旋片泵和下室罗茨泵，所述下室罗茨泵与下密封室之间的管路上设有扩散泵，扩散泵与下室罗茨泵之间的管路上设有下室前级阀，扩散泵与下密封室之间设有下室精抽阀，所述下室精抽阀与下密封室之间的管路上依次设有下室电阻规和下室电离规。

所述下室电阻规和下室电离规之间与下室罗茨泵和下室前级阀之间通过管路接通，且其管路上设有下室粗抽阀。

所述下室前级阀和扩散泵之间通过管路接通维持泵，维持泵与扩散泵之间的管路上设有维持阀和扩散泵电阻规。

本实用新型所述的真空系统的有益效果是：将真空室分为两个独立的真空室进行真空度控制，不仅能够更好的控制室内真空度，而且也满足基膜对真空室内不同真空度的要求。

附图说明

图1为本实用新型实施例所述的真空系统的示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的最佳实施方案作进一步的详细的描述。

如图1所示，本实用新型实施例所述的真空系统，包括并排设置的上密封室18和下密封室19，所述上密封室18通过管路依次接通上室罗茨泵2和上室旋片泵1，所述上室罗茨泵2与上密封室18之间的管路上还设有上室精抽阀3和上室电阻规17，所述上密封室18还通过管路接通放气阀12，使用时通过上室罗茨泵2和上室旋片泵1对上密封室18抽真空，并通过上室电阻规17检测上密封室18的真空度、上室精抽阀3控制上密封室18内的真空度，通过放气阀12对上密封室18进行排气，所述上密封室18通过管路接入深冷泵13，深冷泵13的输出端从上密封室18延伸到下密封室19。

所述下密封室19通过管路依次连接到下室旋片泵4和下室罗茨泵5，通过下室旋片泵4和下室罗茨泵5对下密封室19抽真空，所述下室罗茨泵5与下密封室19之间的管路上设有扩散泵7，扩散泵7与下室罗茨泵5之间的管路上设有下室前级阀6，扩散泵7与下密封室19之间设有下室精抽阀8，所述下室精抽阀8与下密封室19之间的管路上依次设有下室电阻规15和下室电离规16，所述下室电阻规15和下室电离规16之间与下室罗茨泵5和下室前级阀6之间通过管路接通，且其管路上设有下室粗抽阀11；所述下室前级阀6和扩散泵7之间通过管路接通维持泵9，维持泵9与扩散泵7之间的管路上设有维持阀10和扩散泵电阻规14。

本具体实施方式只本实用新型的优选实施例，并不能对本实用新型进行限定，具体各项权利保护范围由权利要求书限定。