[实用新型]真空系统有效
| 申请号： | 201120333830.8 | 申请日： | 2011-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN202226914U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 张德强 | 申请（专利权）人： | 江门市兆业科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 529040 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空系统，其特征在于：包括并排设置的上密封室和下密封室，所述上密封室通过管路依次接通上室罗茨泵和上室旋片泵，所述上室罗茨泵与上密封室之间的管路上还设有上室精抽阀和上室电阻规，所述上密封室还通过管路接通放气阀，所述上密封室通过管路接入深冷泵，深冷泵的输出端从上密封室延伸到下密封室；所述下密封室通过管路依次连接到下室旋片泵和下室罗茨泵，所述下室罗茨泵与下密封室之间的管路上设有扩散泵，扩散泵与下室罗茨泵之间的管路上设有下室前级阀，扩散泵与下密封室之间设有下室精抽阀，所述下室精抽阀与下密封室之间的管路上依次设有下室电阻规和下室电离规。
2.根据权利要求1所述的真空系统，其特征在于：所述下室电阻规和下室电离规之间与下室罗茨泵和下室前级阀之间通过管路接通，且其管路上设有下室粗抽阀。
3.根据权利要求2所述的真空系统，其特征在于：所述下室前级阀和扩散泵之间通过管路接通维持泵，维持泵与扩散泵之间的管路上设有维持阀和扩散泵电阻规。
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