[实用新型]减震摇摆炉有效
申请号: | 201120288464.9 | 申请日: | 2011-08-10 |
公开(公告)号: | CN202254803U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 刘宝成 | 申请(专利权)人: | 河南恒昌电子有限公司 |
主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 461500 河南省许昌市*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 减震 摇摆 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种摇摆炉,应用于半导体制造领域。
背景技术
摇摆炉是在高温的情况下将半导体粉末充分混合的装置,它具有炉体,炉体内具有炉腔,工作时炉体上下摇摆,金属粉末装在玻璃管中放置在炉腔内随着炉体的摇动而摇动,现有技术中,所述的玻璃管放置的炉体内没有固定装置和减震装置,具有玻璃管容易破碎的缺点,影响正常生产。
发明内容
本实用新型的目的就是针对上述缺点,提供一种不会碰坏玻璃管、使用更安全的减震摇摆炉。
本实用新型的技术方案是这样实现的:减震摇摆炉,它具有炉体,炉体内具有炉腔,其特征是:所述的炉腔上面或下面至少一侧具有弹簧。
进一步的讲,所述的炉腔的两侧还具有弹簧。
本实用新型的有益效果是:这样结构的减震摇摆炉具有不会碰坏玻璃管、使用更安全的优点。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
其中: 1、炉体 2、炉腔 3、弹簧。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步的描述。
如图1所示,减震摇摆炉,它具有炉体1,炉体内具有炉腔2,其特征是:所述的炉腔2上面或下面至少一侧具有弹簧3。
进一步的讲,所述的炉腔的两侧还具有弹簧3。
使用时,将盛有晶粉的玻璃管塞进炉腔内,弹簧支撑这玻璃管并起着减震作用,具有本实用新型的目的。
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