[实用新型]单晶炉的观察单晶棒生长装置

说明书

背景技术

本实用新型涉及单晶炉领域，具体属于单晶炉的观察单晶棒生长装置。

背景技术

目前，直拉单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列，用它来制作人工晶体，晶体生长速度最高，最容易实现人工控制，因此也获得了最广泛的应用。为了生长出大尺寸和高质量的单晶，人类几乎用了一切先进的手段。在单晶炉上集成了材料、机械、电气、计算机、磁多方面的高端知识和技术。硅单晶体作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件。大部分的半导体硅单晶体采用直拉法制造。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶炉的观察单晶棒生长装置，可透过观察窗直接观察单晶硅的生长过程，并可直接测量单晶硅的直径大小，结构设计简单，提高了单晶硅的质量。

本实用新型的技术方案如下：

单晶炉的观察单晶棒生长装置，在副炉的侧壁上开有观察孔，所述观察孔上铰接有观察窗，观察窗上带有透明玻璃，副炉的侧壁上设有直径传感器，直径传感器外连接有控制装置。

所述的观察窗与副炉外壁之间设有密封垫。

本实用新型可透过观察窗直接观察单晶硅的生长过程，通过直径传感器可直接测量单晶硅的直径大小，结构设计简单，提高了单晶硅的质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

参见附图，单晶炉的观察单晶棒生长装置，在副炉4的侧壁上开有观察孔1，观察孔1上铰接有观察窗2，观察窗2上带有透明玻璃3，副炉4的侧壁上设有直径传感器，直径传感器外连接有控制装置5，观察窗与副炉外壁之间设有密封垫。