[实用新型]一种单晶炉用籽晶夹头

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体材料制备设备，尤其涉及一种单晶炉用籽晶夹头。

背景技术

现有籽晶夹头，其夹头本体以及重锤均采用耐高温的金属材料制成，由于籽晶夹头常年在高温环境下使用，夹头本体表面以及重锤表面会产生一定量氧化物以及其他杂质，在生产过程中，难以避免细小的杂物脱落，在重力作用下掉落硅熔体，对拉晶产生很大影响，使晶棒产生位错或断棱。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可以有效防止杂质掉落硅熔体的单晶炉用籽晶夹头。

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种单晶炉用籽晶夹头，包括重锤和固定于所述重锤下端的夹头本体，所述夹头本体下端设有悬挂籽晶的销轴，所述重锤为石墨棒，所述夹头本体中空石墨棒。

通过如上技术方案的提出，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型采用石墨棒结构代替钼质金属结构，使得即使长期处在高温状态下，也不会有杂质掉落硅熔体，保证产品质量。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明：

图1为本实用新型实施例1提出的一种单晶炉用籽晶夹头示意图；

图中：

1、重锤；2、夹头本体；3、销轴。

具体实施方式

实施例1

本实施例提出一种单晶炉用籽晶夹头，包括重锤1和固定于重锤1下端的夹头本体2，重锤1的中轴线与夹头本体2的中轴线重合，夹头本体2下端设有悬挂籽晶的销轴3，重锤1为石墨棒，夹头本体2中空石墨棒。本实用新型通过将重锤1和夹头本体2使用石墨棒结构代替钼质金属结构，使得即使长期处在高温状态下，也不会有杂质掉落硅熔体，保证产品质量。

本实用新型并不局限于此实施方式，以本实用新型思想为基础的相关实现总成均在本实用新型的保护范围内。