[实用新型]一种新型单晶炉用籽晶夹头

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体材料制备设备，尤其涉及一种新型单晶炉用籽晶夹头。

背景技术

现有籽晶夹头，其夹头本体以及重锤均采用耐高温的金属材料制成，由于籽晶夹头常年在高温环境下使用，夹头本体表面以及重锤表面会产生一定量氧化物以及其他杂质，在生产过程中，难以避免细小的杂物脱落，在重力作用下掉落硅熔体，对拉晶产生很大影响，使晶棒产生位错或断棱。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可以有效防止杂质掉落硅熔体的单晶炉用籽晶夹头。

为解决上述技术问题，本实用新型一种新型单晶炉用籽晶夹头，包括重锤和固定于所述重锤下端的夹头本体，所述夹头本体下端设有悬挂籽晶的销轴，所述夹头本体靠近重锤处设有圆环形杂物槽，所述夹头本体的材质为石墨。优选的，所述重锤采用不锈钢制成。

通过如上技术方案的提出，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型重锤部分采用相较于钼金属来说廉价的不锈钢制成，节约成本，同时，通过杂物槽对杂质进行收集，可以有效提高产品质量。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明：

图1为本实用新型实施例1提出的一种新型单晶炉用籽晶夹头示意图；

图中：

1、重锤；2、夹头本体；3、销轴；4、杂物槽。

具体实施方式

实施例1

本实施例提出一种新型单晶炉用籽晶夹头，包括重锤1和固定于重锤1下端的夹头本体2，重锤1采用不锈钢制成，夹头本体2下端设有悬挂籽晶的销轴3，夹头本体2靠近重锤1处设有圆环形杂物槽4，用于收集由重锤1表面脱落的杂质，夹头本体2的材质为石墨，其耐高温，且长期使用也不会存在杂质脱落混入硅熔体中，有效保证了产品质量。

本实用新型并不局限于此实施方式，以本实用新型思想为基础的相关实现总成均在本实用新型的保护范围内。