[实用新型]一种靶材制备装置

权利要求书

1.一种靶材制备装置，其特征在于：包括烧结炉体、复合加热模具、加压装置和加热装置，所述烧结炉体的内腔为真空或气氛保护腔体，且复合加热模具置于烧结炉体的内腔内；所述复合加热模具设有内腔，被加工的靶材粉末置于复合加热模具的内腔内；所述加压装置与复合加热模具连接，且加热装置分别与复合加热模具、加压装置连接。

2.根据权利要求1所述的靶材制备装置，其特征在于：所述复合加热模具包括模具内套以及套接在模具内套外周的导电模具，所述模具内套为绝缘模具；所述复合加热模具的内腔为绝缘模具的内腔；所述加压装置与绝缘模具连接，所述导电模具与加热装置连接。

3.根据权利要求2所述的靶材制备装置，其特征在于：所述加压装置包括压力控制装置、变压电极、压头电极和压头，所述压力控制装置与变压电极通过导线连接，变压电极与压头电极之间通过绝缘体板连接，压头电极与压头一体连接；所述压头的下端伸入绝缘模具的内腔且与绝缘模具的内腔配合连接，以接触所述被加工的靶材粉末；所述压头电极与加热装置连接。

4.根据权利要求3所述的靶材制备装置，其特征在于：所述绝缘体板、压头电极均置于烧结炉体的内腔内，且所述烧结炉体、绝缘模具均设有与其内腔连通的冲压口，烧结炉体的冲压口与绝缘模具的冲压口在同一直线上；所述变压电极穿过烧结炉体的冲压口与绝缘体板连接，所述压头由烧结炉体的冲压口伸入绝缘模具的内腔中。

5.根据权利要求3所述的靶材制备装置，其特征在于：所述加热装置包括模具加热电源和靶材加热电源，所述模具加热电源通过导线与导电模具连接，所述靶材加热电源通过导线与压头电极连接。

6.根据权利要求5所述的靶材制备装置，其特征在于：所述模具加热电源为直流电源、交流电源或脉冲电源；所述靶材加热电源为直流电源、交流电源或脉冲电源。

7.根据权利要求2所述的靶材制备装置，其特征在于：所述绝缘模具为由氧化铝、莫莱石、石英、氧化钛、氮化钛或氮化铝中的一种制成的模具。 

8.根据权利要求2所述的靶材制备装置，其特征在于：所述导电模具为由石墨、钼、钼合金、钨、钨合金、镍铬合金或不锈钢制成的模具。